[发明专利]一种连续式硅碳负极动态CVD烧结炉有效

专利信息
申请号: 201910758826.7 申请日: 2019-08-16
公开(公告)号: CN110500879B 公开(公告)日: 2021-05-25
发明(设计)人: 王建业;曾帅强;龙纯;谢礼飞;宋晓峰;何易鹏 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第四十八研究所
主分类号: H01L21/28 分类号: H01L21/28
代理公司: 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 代理人: 周长清;戴玲
地址: 410111 湖南*** 国省代码: 湖南;43
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 连续 式硅碳 负极 动态 cvd 烧结炉
【权利要求书】:

1.一种连续式硅碳负极动态CVD烧结炉,其特征在于:包括安装平台(1)、螺旋进料器(2)、炉头罩(3)、炉管(4)和炉尾罩(5),所述炉管(4)可转动的安装在安装平台(1)上,所述炉管(4)的头端位于炉头罩(3)内且尾端位于炉尾罩(5)内,所述螺旋进料器(2)与炉头罩(3)密封对接,且螺旋进料器(2)的螺旋轴(6)穿过炉头罩(3)与炉管(4)对接,所述炉尾罩(5)上设有出料口,所述炉管(4)头端于炉头罩(3)之外的部分设有第一密封法兰(7),所述第一密封法兰(7)与炉头罩(3)之间设有第一波纹管(8),所述第一密封法兰(7)与第一波纹管(8)之间密封连接,且二者连接处的外周套有第一抽气罩(9),所述炉管(4)尾端于炉尾罩(5)之外的部分设有第二密封法兰(10),所述第二密封法兰(10)与炉尾罩(5)之间设有第二波纹管(11),所述第二密封法兰(10)与第二波纹管(11)之间密封连接,且二者连接处的外周套有第二抽气罩(12),所述炉管(4)的头端设有一锥形内胆(44),所述炉管(4)的入口为锥形内胆(44)的入口,所述炉管(4)与锥形内胆(44)的外壁之间设有隔热棉(45),所述安装平台(1)上设有可敲击炉管(4)的炉管气锤(46);所述炉管(4)的中间部分套有保温套(47),所述炉管(4)下端与保温套(47)的间隙内设有加热装置(48)。

2.根据权利要求1所述的连续式硅碳负极动态CVD烧结炉,其特征在于:所述第一抽气罩(9)的圆周方向设有一个主抽气管(13)和多个间隔的支抽气管(14),各支抽气管(14)均与主抽气管(13)连通,所述第二抽气罩(12)的圆周方向设有一个主抽气管(13)和多个间隔的支抽气管(14),各支抽气管(14)均与主抽气管(13)连通。

3.根据权利要求1所述的连续式硅碳负极动态CVD烧结炉,其特征在于:所述螺旋进料器(2)的上游设有上料装置,所述上料装置包括上料仓(15)和进料缓冲仓(16),所述进料缓冲仓(16)设有进料口、出料口、进气口和出气口,所述进料缓冲仓(16)的进料口与上料仓(15)对接,且出料口与螺旋进料器(2)的入口密封对接。

4.根据权利要求3所述的连续式硅碳负极动态CVD烧结炉,其特征在于:所述上料装置还包括称重仓(17),所述称重仓(17)的底部设有称重器(18),所述称重仓(17)通过上料管(19)与上料仓(15)连接;所述炉尾罩(5)设有主进气口(20),所述主进气口(20)连接一进气管(21),所述进气管(21)位于炉管(4)内,所述主进气口(20)设有流量计(22)。

5.根据权利要求4所述的连续式硅碳负极动态CVD烧结炉,其特征在于:所述炉尾罩(5)的下游设有出料缓冲仓(23),所述出料缓冲仓(23)设有进料口、出料口、进气口和出气口,所述进料口与炉尾罩(5)的出料口对接;所述进料缓冲仓(16)、称重仓(17)和出料缓冲仓(23)的外侧对应设有一用于敲打各仓体的仓体气锤(24)。

6.根据权利要求1至5任意一项所述的连续式硅碳负极动态CVD烧结炉,其特征在于:所述螺旋进料器(2)内设有防止堵料的破拱轴(25),所述破拱轴(25)设有叶片(26),所述破拱轴(25)连接一驱动机构(27)。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国电子科技集团公司第四十八研究所,未经中国电子科技集团公司第四十八研究所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201910758826.7/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top