[发明专利]一种区熔单晶炉上料装置

说明书

本发明提供了一种区熔单晶炉上料装置，包括定板；定板上设有小锥齿轮，小锥齿轮与大锥齿轮相啮合，小锥齿轮与竖直设置的丝杠同轴转动连接；丝杠上螺纹连接螺母滑块，丝杠旁设有导轨，螺母滑块与导轨滑动连接；螺母滑块上固定支架，支架上设有动板和两个翻板，每个翻板的外端通过翻板心轴连接在动板上，动板和翻板顶端均设有弹簧固定柱，同一侧的动板和翻板上的弹簧固定柱之间设有弹簧；两个翻板的开口处设有插销。本发明所述的一种区熔单晶炉上料装置，配合使用机械机构代替人工进行多晶硅棒原料的上料工作，不仅减少上料工作对操作工人身体健康的损害，也提高了生产的安全性与可靠性，为区熔单晶炉的上料工作提供了极大的方便。

技术领域

本发明属于机械技术领域，尤其是涉及一种区熔单晶炉上料装置。

背景技术

区熔单晶硅因其独特的电学等特性，使其应用范围越来越广阔，且对区熔单晶硅片的大尺寸要求也越来越迫切。为了生产大尺寸的区熔单晶硅，不得不使用大尺寸的多晶硅棒原料，多晶硅原料的直径、长度以及重量越来越大，大长度、高重量造成了多晶棒原料上料困难的难题。

在以往的上料过程中，生产工人需用绳索将多晶硅棒原料绑在前臂进行上料，绑在工人前臂的高重量多晶棒原料不仅会对工人的身体造成损害，而且这种人工上料方式也会造成诸多安全隐患，例如在上料悬挂过程中，多晶硅棒原料会晃动，容易撞到炉体内壁以及中炉室的加热部件，甚至会有多晶硅棒原料划扣掉落的风险。

发明内容

有鉴于此，本发明旨在提出一种区熔单晶炉上料装置，解决了现有技术中的问题，配合使用机械机构代替人工进行多晶硅棒原料的上料工作，不仅减少上料工作对操作工人身体健康的损害，也提高了生产的安全性与可靠性，为区熔单晶炉的上料工作提供了极大的方便。

为达到上述目的，本发明的技术方案是这样实现的：

一种区熔单晶炉上料装置，包括定板；定板上设有小锥齿轮，小锥齿轮与大锥齿轮相啮合，小锥齿轮与竖直设置的丝杠同轴转动连接；丝杠上螺纹连接螺母滑块，丝杠旁设有导轨，螺母滑块与导轨滑动连接；螺母滑块上固定支架，支架上设有动板和两个翻板，每个翻板的外端通过翻板心轴连接在动板上，动板和翻板顶端均设有弹簧固定柱，同一侧的动板和翻板上的弹簧固定柱之间设有弹簧；两个翻板的开口处设有插销。

进一步的，定板上设有支撑罩，大锥齿轮和小锥齿轮均设置在支撑罩内，支撑罩内设有轴承座，摇杆轴通过轴承座与大锥齿轮同轴转动连接。

进一步的，摇杆轴伸出支撑罩的一端设有手轮。

进一步的，导轨顶端通过锁紧螺母与定板固定连接。

进一步的，丝杠穿过定板上的组合轴承与小锥齿轮连接。

进一步的，导轨和丝杠底端均设有底板。

底板通过弹簧垫圈和螺母将两根导轨与丝杠的下端连接在一起。

进一步的，支撑罩顶端设有通孔。

进一步的，两个翻板相对的一侧上均设有半圆通孔，半圆通孔周围设有四氟环。

四氟环在承接多晶硅棒原料时既可以起到缓冲的作用，又可以防止铝合金直接与多晶硅棒原料接触后污染多晶硅棒原料。

进一步的，定板竖直方向的一侧上设有螺栓孔。

可以利用螺栓孔将本装置和上炉室的螺栓孔固定到一起，保证了本装置在工作过程中的稳定性。

进一步的，两个翻板下侧设有挡板。

挡板限制两个翻板向下旋转，起到支撑翻板的作用。

相对于现有技术，本发明所述的一种区熔单晶炉上料装置具有以下优势：