[发明专利]一种基于互相关的评价面形测量方法有效性的方法

权利要求书

1.一种基于互相关的评价面形测量方法有效性的方法，其特征在于：包括如下步骤：

步骤1：选取一种面形测量方法对一个光学表面测量P次，P≥3；

步骤2：对步骤1获得的测量数据进行取平均处理，测量结果记为S₁(m,n)；

步骤3：使用被评价面形测量方法测量对同一个光学元件测量P次，P≥3；

步骤4：对步骤3获得的测量数据进行取平均处理，测量结果记为S₂(m,n)；

步骤5：以使用成熟的面形测量方法得到的测量结果S₁(m,n)作为参照，对使用被评价面形测量方法得到的测量结果S₂(m,n)进行位置匹配；

步骤6：将步骤2中的S₁(m,n)和步骤4中的S₂(m,n)代入归一化互相关的关系数公式，得到归一化互相关系数ncc；将步骤2中的S₁(m,n)和步骤4中的S₂(m,n)代入衰减率公式得到衰减率A，并将归一化互相关系数ncc和衰减率A相乘得到误差一致性系数SECC；

步骤7：根据步骤6获得的误差一致性系数SECC评价面形误差一致性，SEEC越趋近于100％，被评价面形测量方法与选取的成熟的面形测量方法越接近一致，被评价面形测量方法与选取的成熟的面形测量方法越接近一致，则被评价面形测量方法有效性越好，当SECC大于预设阈值则判定被评价面形测量方法有效。

2.如权利要求1所述的一种基于互相关的评价面形测量方法有效性的方法，其特征在于：步骤6实现方法为，

步骤6.1：将步骤2中的S₁(m,n)和步骤4中的S₂(m,n)代入归一化互相关的关系数公式，得到归一化互相关系数ncc，所述归一化互相关系数ncc公式为：

其中：M、N为面形尺寸；

步骤6.2：将步骤2中的S₁(m,n)和步骤4中的S₂(m,n)代入衰减率公式得到衰减率A；

所述衰减率A的公式为：

其中

和

步骤6.3：将归一化互相关系数ncc和衰减率A相乘得到误差一致性系数SECC；

SECC＝A×ncc (3)。

3.如权利要求2所述的一种基于互相关的评价面形测量方法有效性的方法，其特征在于：步骤1所述面形测量方法包括傅里叶变换干涉图求解法。