[发明专利]针对光学源中的干扰的补偿

权利要求书

1.一种用于光学系统的方法，包括：

确定脉冲光束的第一波长误差，所述第一波长误差基于与所述脉冲光束相关联的中心波长和所述脉冲光束的第一多个脉冲的实际波长，所述脉冲光束与时间重复率相关联；

确定与光学源中的干扰相关联的频率，所确定的频率是随着所述时间重复率而变化的混叠频率；

将校正波形应用于所述脉冲光束，所述校正波形基于所述混叠频率；以及

确定所述脉冲光束的第二波长误差，所述第二波长误差基于所述中心波长和所述脉冲光束的第二多个脉冲的实际波长，所述第二多个脉冲发生在所述校正波形被应用于所述脉冲光束之后，其中

所述第二波长误差的变化小于所述第一波长误差的变化，或者所述第二波长误差中的至少一个第二波长误差小于所述第一波长误差中的所有第一波长误差。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述第二波长误差的所述变化小于所述第一波长误差的变化，并且所述第二波长误差中的至少一个第二波长误差小于所述第一波长误差中的所有第一波长误差。

3.根据权利要求1所述的方法，其中将校正波形应用于所述脉冲光束包括：将所述校正波形应用于光学组件，所述光学组件包括被定位成与在所述光学源中传播的光相互作用的光学元件，将所述校正波形应用于所述光学组件足以使所述光学元件移动。

4.根据权利要求1所述的方法，其中所述校正波形包括与所述干扰的幅度基本相同的幅度和相对于所述干扰的相位被偏移的相位。

5.根据权利要求4所述的方法，其中所述校正波形的所述相位相对于所述干扰的所述相位被偏移一百八十度。

6.根据权利要求1所述的方法，其中所述干扰包括多个分离且不同的频率。

7.根据权利要求6所述的方法，其中所述多个频率包括基波频率以及所述基波频率的一个或多个谐波。

8.根据权利要求1所述的方法，其中所述第一多个脉冲和所述第二多个脉冲包括相同数目的脉冲。

9.根据权利要求1所述的方法，其中

所述中心波长是所述脉冲光束中的所述脉冲的标称波长，

所述第一波长误差包括所述中心波长与针对所述第一多个脉冲中的所述脉冲中的每个脉冲的所述实际波长之间的差异，以及

所述第二波长误差包括所述中心波长与针对所述第二多个脉冲中的所述脉冲中的每个脉冲的所述实际波长之间的差异。

10.根据权利要求9所述的方法，其中所述第一波长误差的所述变化包括所述第一波长误差的标准偏差，并且所述第二波长误差的所述变化包括所述第二波长误差的标准偏差。

11.根据权利要求9所述的方法，还包括：

基于测量数据来确定所述第一多个脉冲中的每个脉冲的实际波长；以及

基于测量数据来确定所述第二多个脉冲中的每个脉冲的实际波长。