[发明专利]检测透射式光学系统任意波长焦距的方法有效
申请号: | 201910728724.0 | 申请日: | 2019-08-08 |
公开(公告)号: | CN110307963B | 公开(公告)日: | 2020-11-03 |
发明(设计)人: | 韩森;张齐元;庄锦程;王全召;李雪园 | 申请(专利权)人: | 苏州维纳仪器有限责任公司 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02 |
代理公司: | 上海德昭知识产权代理有限公司 31204 | 代理人: | 郁旦蓉 |
地址: | 215123 江苏省苏州市苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 检测 透射 光学系统 任意 波长 焦距 方法 | ||
本发明提供了一种检测透射式光学系统任意波长焦距的方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤一,对光学系统的焦距进行测量,得到光学系统λ0的焦距f(λ0);步骤二,对光学系统的后截距进行测量,得到光学系统λ1~λm的后截距l(λ1)、l(λ2)……l(λm);步骤三,将l(λ1)、l(λ2)……l(λm)代入后截距与波长的方程,计算Al、Bl、Cl和Dl的值;步骤四,将计算得到的Al、Bl、Cl、Dl的值代入截距与波长方程,计算波长为λ0和λn的光学系统后截距l(λ0)和l(λn);步骤五,通过l(λ0)和l(λn)计算后截距的间隔步骤六,通过f(λ0)和计算焦距f(λn),光学系统为单波长系统、消色差系统、复消色差系统中的任意一种。
技术领域
本发明涉及一种检测焦距的方法,具体涉及一种检测透射式光学系统任意波长焦距的方法。
背景技术
焦距是光学系统的一个重要参数,常用的焦距测量方法有放大率法、精密测角法、阿贝焦距仪法等。光学系统通常在某个特定波长下和一定波段范围内设计,透射式光学系统的焦距随波长的变化而改变,而在很多应用中需要准确知道系统的焦距。
在现有的测量焦距方法中主要是测量某一波长或很窄带宽波段的焦距。如常用的焦距仪中采用550nm为中心的窄带宽LED光源,测量的焦距为光学系统550nm时的焦距,另外如专利CN201410439298.6“基于斐索干涉仪的透镜焦距测量装置及方法”采用激光干涉仪测量透镜焦距,可以准确的检测透射的单色焦距。因此由于现在的测量仪器和方法的限制,只能测量有限波长焦距。
发明内容
本发明是为了解决上述问题而进行的,目的在于提供一种检测光学系统任意波长焦距的方法。
本发明提供了一种检测透射式光学系统任意波长焦距的方法,具有这样的特征,包括以下步骤:步骤一,使用测量焦距的仪器对光学系统的焦距进行测量,得到光学系统λ0的焦距f(λ0);步骤二,使用测量后截距的装置对光学系统的后截距进行测量,得到光学系统λ1~λm的后截距l(λ1)、l(λ2)……l(λm);步骤三,将步骤二得到m种波长的后截距l(λ1)、l(λ2)……l(λm)代入后截距与波长的方程,
m=1,2,3,4,计算Al、Bl、Cl和Dl的值;步骤四,将计算得到的Al、Bl、Cl和Dl的值代入公式(1)中,分别计算波长为λ0和λn的光学系统后截距l(λ0)和l(λn);步骤五,将计算得到的l(λ0)和l(λn)代入公式(2)中,
计算λ0和λn的光学系统后截距的间隔步骤六,将测量得到的f(λ0)和计算得到的代入公式(3)中,
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