[发明专利]蒸镀金属掩膜板

权利要求书

1.一种蒸镀金属掩膜板，其特征在于，包括：

一掩模板框架，其包括两个相对的横向边框以及两个相对的纵向边框，所述横向边框上开设有第一倾斜槽；

一掩模部，其设置于所述掩模板框架上，所述掩模部包括多个横向条以及多个纵向条，所述多个横向条以及多个纵向条纵横交错连接形成多个呈矩形阵列排布的掩膜孔，所述横向条与所述横向边框平行，所述纵向条与所述纵向边框平行，所述多个横向条中位于两边的两个横向条倾斜地插设在所述第一倾斜槽中，所述两个横向条倾斜的边缘朝向内侧的一边向上翘起。

2.根据权利要求1所述的蒸镀金属掩膜板，其特征在于，所述纵向边框上开设有第二倾斜槽，所述多个纵向条中位于两边的两个纵向条倾斜地插设在所述第二倾斜槽中，所述两个纵向条倾斜的边缘朝向内侧的一边向上翘起。

3.根据权利要求2所述的蒸镀金属掩膜板，其特征在于，所述第二倾斜槽包括第三侧壁面以及第四侧壁面，所述第四侧壁面的一边与对应纵向边框的内侧面连接，所述第四侧壁面的另一相对边与所述第三侧壁面的底边连接，所述第三侧壁面的顶边与所述纵向边框的上表面连接。

4.根据权利要求3所述的蒸镀金属掩膜板，其特征在于，所述第一倾斜槽包括第一侧壁面以及第二侧壁面，所述第二侧壁面的一边与对应横向边框的内侧面连接，所述第二侧壁面的另一相对边与所述第一侧壁面的底边连接，所述第一侧壁面的顶边与所述横向边框的上表面连接。

5.根据权利要求3所述的蒸镀金属掩膜板，其特征在于，两个倾斜的横向条之间的多个横向条、倾斜的纵向条之间的多个纵向条为一体成型结构，且该一体成型的纵向条和横向条的上表面和下表面均齐平。

6.根据权利要求4所述的蒸镀金属掩膜板，其特征在于，所述横向条以及所述纵向条均呈扁平的长方体条状，所述第三侧壁面以及第四侧壁面相互垂直，所述第一侧壁面以及第二侧壁面相互垂直。

7.根据权利要求4所述的蒸镀金属掩膜板，其特征在于，所述横向边框以及纵向边框均呈扁平的长方体条状。

8.根据权利要求1所述的蒸镀金属掩膜板，其特征在于，所述掩模板框架为不锈钢合金材料制成。

9.根据权利要求1所述的蒸镀金属掩膜板，其特征在于，所述掩模部为铟瓦镍合金制成。

10.根据权利要求9所述的蒸镀金属掩膜板，其特征在于，所述掩模部的厚度为50～100um。