[发明专利]准分子灯

说明书

本发明提供一种准分子灯，其包括放电容器、金膜、以及第二电极，其中金膜及第二电极分别设置于放电容器的上侧及下侧，并且金膜同时作为第一电极及反射膜。

技术领域

本发明涉及一种准分子灯，尤其涉及一种应用于半导体或液晶显示元件的制程的准分子灯。

背景技术

在半导体或液晶显示元件的制程中，利用紫外线的干式洗净方法被广泛地应用于分解并去除附着于半导体基板的硅晶片或液晶显示元件的玻璃基板的表面的有机化合物。特别是，使用准分子灯来进行的紫外线的干式洗净方法能够有效率地在短时间加以洗净。

然而，在现有技术的准分子灯中，作为电极的镍(Ni)的导电性仍不足，并且作为反射膜的铝(Al)的耐腐蚀性及耐热性均低，且会随着使用时间及环境而氧化，导致反射效果降低，准分子灯的照度(光强度)，处理能力(例如洗净能力)也随之大幅衰减。另外，二氧化硅的反射膜的反射效果也会随着使用时间而降低，导致准分子灯的照度及处理能力大幅衰减。

发明内容

有鉴于此，本发明以金来取代镍及铝作为电极及反射膜，藉此提供一种可长时间维持照度及处理能力的准分子灯。

本发明提供一种准分子灯，包括：放电容器、金膜以及第二电极。放电容器是由透光介质所构成。放电容器的内部存在密封空间，其中密封空间存在放电用气体。金膜设置于放电容器的上侧，并且金膜同时作为准分子灯的第一电极及反射膜。第二电极设置于放电容器的下侧。

在本发明的一实施例中，上述的第二电极的材料为金。

在本发明的一实施例中，上述的金膜作为电性连接至电源的第一电极以及反射膜，其中反射膜用于反射来自于放电用气体的放光。

在本发明的一实施例中，上述的金膜的厚度为1.0μm～3.5μm。

在本发明的一实施例中，上述的准分子灯在放出波长为172nm的紫外线3000小时的照度衰减率小于5％。

基于上述，本发明提供一种可长时间维持照度及处理能力的准分子灯。具体而言，本发明以金膜同时作为准分子灯的电极及反射膜，在此，由于金具有耐腐蚀性、耐热性、高抗氧化性及导电性的优点，因此在长时间的使用下，仍可维持照度及处理能力(例如洗净能力)，藉此增加准分子灯的使用寿命。另一方面，本发明以金膜同时作为准分子灯的电极及反射膜，因此在制造准分子灯的制程中可以减少形成反射膜的步骤，达到简化制程的效果。

为让本发明的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合附图作详细说明如下。

附图说明

图1(a)是依照本发明的第一实施例的一种准分子灯的上视图。

图1(b)是依照本发明的第一实施例的一种准分子灯的侧视图。

图1(c)是依照本发明的第一实施例的一种准分子灯的下视图。

图2是沿着图1(b)中的A-A'剖面的示意图。

图3(a)是实验例1与比较例1的紫外线照度随时间变化的关系图。

图3(b)是实验例1与比较例1的照度衰减率随时间变化的关系图。

图4是依照本发明的第二实施例的一种准分子灯的剖面示意图。

【符号说明】

100、200：准分子灯

120、220：放电容器

122：密封空间

130：金膜

140：第二电极

D1：第一厚度