[发明专利]光调制器、光调制器模块和光发送器模块

权利要求书

1.一种光调制器，该光调制器包括：

脊型光波导，该光波导由具有光电效应的介电材料薄膜在衬底上形成；

缓冲层，该缓冲层覆盖所述光波导；和

信号电极，该信号电极经由所述缓冲层设置在所述光波导上，

其中，所述信号电极覆盖所述光波导的脊的两个侧壁处的所述缓冲层，并且其中，所述缓冲层在所述脊的两侧的凹槽的底部处从所述信号电极暴露。

2.根据权利要求1所述的光调制器，

其中，所述信号电极经由所述缓冲层相对于所述光波导的所述脊的宽度方向上的中心对称地覆盖所述脊的两个侧壁。

3.根据权利要求1所述的光调制器，

其中，所述信号电极经由所述缓冲层相对于所述光波导的所述脊的宽度方向的中心不对称地覆盖所述脊的两个侧壁。

4.根据权利要求1所述的光调制器，该光调制器还包括：

接地电极，该接地电极在距离所述信号电极预定距离处设置在所述薄膜上，

其中，位于所述接地电极下方的所述薄膜具有从所述接地电极的侧壁朝向所述光波导突出的台阶。

5.根据权利要求1所述的光调制器，

其中，所述光波导包括形成Mach-Zehnder干涉仪的第一波导和第二波导，

其中，所述信号电极包括提供给所述第一波导的第一信号电极和提供给所述第二波导的第二信号电极，并且

其中，所述第一信号电极和所述第二信号电极的中心之间的间隔大于所述第一波导和所述第二波导的脊中心之间的间隔。

6.根据权利要求5所述的光调制器，

其中，所述第一信号电极相对于所述Mach-Zehnder干涉仪的中心轴线覆盖所述第一波导的第一脊的外侧壁，并且在所述第一脊的内侧壁处与所述缓冲层的表面对准，并且

其中，所述第二信号电极相对于所述Mach-Zehnder干涉仪的所述中心轴线覆盖所述第二波导的第二脊的外侧壁，并且在所述第二脊的内侧壁处与所述缓冲层的表面对准。

7.根据权利要求4所述的光调制器，

其中，所述光波导包括形成Mach-Zehnder干涉仪的第一波导和第二波导，

其中，所述信号电极包括提供给所述第一波导的第一信号电极和提供给所述第二波导的第二信号电极，并且

其中，所述接地电极包括相对于所述Mach-Zehnder干涉仪的中心轴线设置在所述第一信号电极外侧的第一接地电极和设置在所述第二信号电极外侧的第二接地电极。

8.根据权利要求7所述的光调制器，其中，位于所述第一接地电极下方的所述薄膜具有朝向所述第一波导突出的第一台阶，并且位于所述第二接地电极下方的所述薄膜具有朝向所述第二波导突出的第二台阶。

9.根据权利要求7所述的光调制器，该光调制器还包括：

第三接地电极，该第三接地电极设置在所述第一信号电极和所述第二信号电极之间。

10.根据权利要求8所述的光调制器，该光调制器还包括：

第三接地电极，该第三接地电极设置在所述第一信号电极和所述第二信号电极之间。

11.根据权利要求1所述的光调制器，其中，所述衬底的折射率低于所述薄膜的折射率。

12.根据权利要求1所述的光调制器，该光调制器还包括：

第二缓冲层，该第二缓冲层设置在所述衬底和所述薄膜之间。