[发明专利]一种综合电子高速光互连模块集成结构及集成方法有效
申请号: | 201910684566.3 | 申请日: | 2019-07-26 |
公开(公告)号: | CN110412700B | 公开(公告)日: | 2022-05-17 |
发明(设计)人: | 李晗;李宝霞;赵超 | 申请(专利权)人: | 西安微电子技术研究所 |
主分类号: | G02B6/42 | 分类号: | G02B6/42 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 安彦彦 |
地址: | 710065 陕西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 综合 电子 高速 互连 模块 集成 结构 方法 | ||
1.一种用于综合电子高速光互连模块集成结构的集成方法,其特征在于,所述集成结构包括HTCC基板盒(1)和硅载板(2),硅载板(2)固定于HTCC基板盒(1)内,HTCC基板盒(1)表面设有布线,硅载板(2)一侧固定有激光/探测器(3),硅载板(2)上设有垂直于激光/探测器(3)的通孔,硅载板(2)的通孔内固定有光纤(4),光纤(4)端部与激光/探测器(3)耦合,硅载板(2)与激光/探测器(3)通过键合丝键合连接,光纤(4)与HTCC基板盒(1)过渡段外侧包覆有尾纤密封焊环(5),HTCC基板盒(1)一侧设有外壳可伐封焊环(6),尾纤密封焊环(5)与外壳可伐封焊环(6)固定连接,激光/探测器(3)通过FC焊接在硅载板(2)一侧,硅载板(2)表面设有金属布线,硅载板(2)表面的金属布线与激光/探测器(3)通过键合丝键合连接,激光/探测器(3)与光纤(4)之间的耦合采用抵头结合方式直接对接耦合,HTCC基板盒(1)通过布线连接有信息处理系统模块(7),信息处理系统模块(7)通过焊接或粘片压焊封装在HTCC基板盒(1)上,硅载板(2)通过键合丝与固定于HTCC基板盒(1)上的信息处理系统模块连接;
具体包括以下步骤:
步骤1)、在HTCC基板盒内进行布线;
步骤2)、在设有金属布线的硅载板(2)上开设孔洞,然后将光纤穿过硅载板(2)上的孔洞后与激光/探测器(3)耦合连接,然后将激光/探测器(3)垂直于孔洞方向固定于硅载板(2)一侧;
步骤3)、最后将固定有激光/探测器(3)的硅载板(2)固定于HTCC基板盒(1)内,通过键合丝键合将硅载板(2)与激光/探测器(3)连接;HTCC基板盒(1)正面及侧面模块的气密性封装采用激光熔封完成气密性封装;HTCC基板盒(1)内的布线采用高速布线技术布线;将与固定后的硅载板(2)连接的光纤(4)通过尾纤密封焊环(5)与外壳可伐封焊环(6)固定于HTCC基板盒(1)上。
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