[发明专利]一种在线式石墨舟中硅片的检测系统及检测方法

说明书

本发明公开了一种在线式石墨舟中硅片的检测系统及检测方法，石墨舟设于上下片机上，上下片机通过上下片机PLC控制，硅片贴在石墨舟的舟页两边。硅片检测系统设于石墨舟的运行通道正上方，所述硅片检测系统包括：翘片检测系统、搭片检测系统、及工控机，所述翘片检测系统及搭片检测系统分别与工控机信号连接，上下片机上设有一翘片检测触发传感器，所述翘片检测触发传感器与上下片机PLC信号连接，翘片检测系统与上下片机PLC通过以太网进行连接。本发明能够实现在线硅片检测；整个检测时间为6～8秒，检测效率高，极大的提高了整体生产效率；提高了检测精度，同时降低了硅片碎片率。

技术领域

本发明涉及石墨舟硅片检测技术领域，尤其涉及一种在线式石墨舟中硅片的检测系统及检测方法。

背景技术

太阳能作为人类取之不尽用之不竭的可再生能源，其特有的充分清洁性，绝对安全性，相对的广泛性，在长期的能源战略中具有重要的影响地位。

石墨舟自动上下片机作为光伏制造业自动化设备的典型代表，用于太阳能电池片生产过程中的PECVD工艺前后，将硅片自动装载到石墨舟中或将石墨舟中的硅片自动装载到片篮中，其具有自动化及生产效率高、减少人工与硅片的接触污染、大幅度增加取放片的稳定性等特点，被业界公认为光伏制造行业的重点设备。

上下料机器人将硅片插入到石墨舟中的每个舟页，机器人通过紧贴放置的方式将硅片放置于竖直的舟槽上的卡点上，一个舟槽内的硅片必须是相互平行放置的，但是由于舟槽上的卡点出现磨损或者运行过程中震动，会导致平行的硅片出现人字形的情况，也就搭片；如果出现搭片不及时处理，进入PECVD后，出现搭片情况的硅片反应后就会成为废品，浪费了能源，同时增加了硅片不良率。

同时，PECVD工艺后，石墨舟出舟，在传输至上下片机过程中，由于空气的热胀冷缩或者是PECVD内部机械手搬运过程，都有可能造成硅片翘片、搭片及掉片情况，且传输的过程中也会有石墨舟内硅片出现翘片、搭片及掉片的情况，异常的硅片若不处理，上下片机台的机械手进入舟槽取片时，异常的硅片都会被机械手碰碎掉，对生产太阳能硅片公司造成了大量的经济损失。由于PECVD是高温扩散反应炉，温度高达500度，太阳能硅片在进入PECVD反应之前是原片，不具有吸引太阳光的能力，因此具有一定的反光特性；硅片从PEVCD出来后，就具有了吸收太阳光特性。传统的检测方法对于石墨舟进舟和出舟过程中硅片的检测精度不高，尤其是出舟过程无法准确无误的检测出硅片的翘片、搭片及掉片情况。

而目前太阳能电池片生产商大多采用人工检测的方法，对石墨舟中紧密安插在各舟页中的硅片进行逐一检查，来排除硅片翘起、掉下及搭片的情况。但是通常人眼无法连续、稳定地完成这些带有高度重复性的工作，同时检测环境温度相对较高，因为人工检测时石墨舟温度还没有全部降下来，故此业内亟需开发一种快速性、可重复性、智能化的检测方法。

因此，现有技术存在不足，需要改进。

发明内容

本发明的目的是克服现有技术的不足，提供一种在线式石墨舟中硅片的检测系统及检测方法。

本发明的技术方案如下：提供一种在线式石墨舟中硅片的检测系统，包括：PECVD机台、设于所述PECVD机台入料口这一侧的上下片机、设于所述上下片机上的运载托盘、设于所述运载托盘上的石墨舟、及控制所述上下片机作业的上下片机PLC，所述石墨舟包括若干并排设置的舟槽，所述舟槽包括若干并列设置的舟页，每个所述舟页的左右两边分别贴有硅片，其特征在于，所述石墨舟的运行通道正上方设有硅片检测系统，所述硅片检测系统包括：翘片检测系统、搭片检测系统、及工控机，所述翘片检测系统及所述搭片检测系统分别与所述工控机信号连接，所述上下片机上设有一翘片检测触发传感器，所述翘片检测触发传感器与所述上下片机PLC信号连接，所述翘片检测系统与所述上下片机PLC信号连接。