[发明专利]一种具有高激光损伤阈值的耐高温氧化铌薄膜制备方法

权利要求书

1.一种具有高激光损伤阈值的耐高温氧化铌薄膜制备方法，其步骤为：

步骤1、将卤化铌前驱体加入醇中，搅拌0.1～2h混合均匀；然后加入复合添加剂，继续搅拌0.5～10h；随后滴加去离子水，搅拌0.5～24h，制得混合液；其中卤化铌、醇、复合添加剂和去离子水的摩尔比为1：20～120：0.05～10：0.2～20；

所述的复合添加剂，是螯合剂和耐高温添加剂以任意配比的混合物；所述螯合剂为单乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、柠檬酸、二甲基甲酰胺、甲酰丙酮、乙酰丙酮、聚乙烯基吡咯烷酮中的任一种；所述耐高温添加剂为二甲基硅油、甲基氢硅氧烷聚合物、聚硅氧烷-多烷氧基醚共聚物中的任一种；

步骤2、制备的混合液在室温下搅拌0.5～2h，然后密封置于0～35℃条件下陈化，制得含铌的胶体；

步骤3、将基底浸泡于清洗液中，超声清洗10～60min，然后用去离子水冲洗干净，最后用高纯氮气吹干；

步骤4、采用提拉镀膜法或旋涂镀膜法用含铌的胶体在基底上镀膜，环境相对湿度小于50%，提拉速度为5～200mm/min或旋涂速度为500～20000r/min；镀膜完成后将薄膜在60～300℃下退火热处理0.5～3h，获得氧化铌薄膜。

2.根据权利要求1所述的具有高激光损伤阈值的耐高温氧化铌薄膜制备方法，其特征是：步骤2中所述陈化，为陈化3～10天。

3.根据权利要求1所述的具有高激光损伤阈值的耐高温氧化铌薄膜制备方法，其特征是：所述的卤化铌为五氟化铌或五氯化铌。

4.根据权利要求1所述的具有高激光损伤阈值的耐高温氧化铌薄膜制备方法，其特征是：所述的醇为乙醇、丙醇、异丙醇、丁醇、乙二醇、丙二醇中的任一种或任意多种以任意配比的混合物。

5.根据权利要求1所述的具有高激光损伤阈值的耐高温氧化铌薄膜制备方法，其特征是：所述的基底为BK7玻璃或石英。

6.根据权利要求1所述的具有高激光损伤阈值的耐高温氧化铌薄膜制备方法，其特征是：所述的清洗液为乙醇、石油醚或丙酮中的任一种，或是所述的乙醇、石油醚或丙酮其中的任意两种以任意配比的混合物。