[发明专利]玻璃层叠体、显示器用前面板、显示装置和玻璃层叠体的制造方法

权利要求书

1.一种玻璃层叠体，其特征在于，具备具有第一主面和第二主面的玻璃基体；设置于所述第一主面和所述第二主面中的至少一方、且交替地层叠有低折射率层和高折射率层的防反射层；和层叠在所述防反射层上的防污层，

所述防反射层中的距离所述玻璃基体最远的最外表面层是主成分为SiO₂的所述低折射率层，

所述最外表面层的厚度方向上的氟浓度的分布在基于二次离子质谱法的测定中具有峰。

2.一种玻璃层叠体，其特征在于，具备具有第一主面和第二主面的玻璃基体；设置于所述第一主面和所述第二主面中的至少一方、且交替地层叠有低折射率层和高折射率层的防反射层；和层叠在所述防反射层上的防污层，

所述防反射层中的距离所述玻璃基体最远的最外表面层是主成分为SiO₂的所述低折射率层，

所述最外表面层的厚度方向上的氟的二次离子强度曲线在所述最外表面层中的一部分为凸形状。

3.如权利要求1或2所述的玻璃层叠体，其特征在于，所述防污层是包含氟原子的防污层。

4.如权利要求1或2所述的玻璃层叠体，其特征在于，所述最外表面层的厚度在60nm以上且130nm以下。

5.如权利要求1或2所述的玻璃层叠体，其特征在于，所述防反射层由1层以上且6层以下的所述低折射率层和与所述低折射率层相同层数的所述高折射率层构成。

6.如权利要求5所述的玻璃层叠体，其特征在于，所述防反射层由分别各1层的所述低折射率层和所述高折射率层构成，

所述高折射率层的主成分是SiN、TiO₂、Nb₂O₅、Ta₂O₅、ZrO₂中的任一种。

7.如权利要求5所述的玻璃层叠体，其特征在于，所述防反射层由分别2层以上且6层以下的所述低折射率层和所述高折射率层构成，

所述高折射率层的主成分是SiN、TiO₂、Nb₂O₅、Ta₂O₅、ZrO₂中的任一种，

所有的所述高折射率层的主成分相同、或至少1层的所述高折射率层的主成分与其他的高折射率层的主成分不同。

8.如权利要求1或2所述的玻璃层叠体，其特征在于，所述防污层由氟类硅烷偶联材料形成。

9.如权利要求8所述的玻璃层叠体，其特征在于，所述防反射层由分别2层以上且6层以下的所述低折射率层和所述高折射率层构成，

构成所述最外表面层的SiO₂的成分在从所述最外表面层的最外表面侧起的深度5nm以内的范围内为95质量％以上，

所述最外表面层以外的所述低折射率层的主成分是Al-SiO₂。

10.如权利要求1或2所述的玻璃层叠体，其特征在于，对所述玻璃基体的设有所述防反射层的主表面实施了防眩加工。

11.如权利要求1或2所述的玻璃层叠体，其特征在于，所述最外表面层的表面粗糙度以算术平均粗糙度(Ra)计，在3nm以下。

12.如权利要求10所述的玻璃层叠体，其特征在于，所述最外表面层的表面粗糙度以均方根粗糙度(RMS)计，在10nm以上。

13.如权利要求1或2所述的玻璃层叠体，其特征在于，所述最外表面层是以SiO₂作为主成分、且碳浓度在5×10¹⁸以上且5×10¹⁹原子/cm³以下的含碳二氧化硅层。