[发明专利]一种基于多腔亚波长光栅结构的偏振器件有效
| 申请号： | 201910611027.7 | 申请日： | 2019-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN110308508B | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 王钦华;夏傑;孙倜;陆颢文 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | G02B5/30 | 分类号： | G02B5/30;G02B5/18 |
| 代理公司： | 北京科家知识产权代理事务所(普通合伙) 11427 | 代理人： | 陈娟 |
| 地址： | 215123 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 多腔亚 波长 光栅 结构 偏振 器件 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于多腔亚波长光栅结构的偏振器件，其特征在于，所述偏振器件包括基底和薄膜结构；所述基底上具有光栅，所述薄膜结构设置在所述光栅的顶部和底部；所述薄膜结构包括至少两层金属层和至少一层介质层，其中，每层所述介质层均位于两个所述金属层之间；
所述光栅的周期为30nm以上，占空比为0.3~0.7，所述光栅的高度为30nm以上，所述金属层的高度为5nm以上；所述薄膜结构包括上下设置的两层所述介质层，其中，位于底层的所述介质层的厚度为20nm以上，位于顶层的所述介质层厚度也为20nm以上。
2.根据权利要求1所述的偏振器件，其特征在于，所述基底材料为ZnSe、SiO2、Y2O3、液晶、ZnS或 Ge。
3.根据权利要求1所述的偏振器件，其特征在于，所述金属层的材质为铝、金、银或铬。
4.根据权利要求1所述的偏振器件，其特征在于，所述介质层材料为腔结构材料。
5.根据权利要求1至4任一项所述的偏振器件，其特征在于，所述介质层的材质为BaF2、CaF2，MgF2，YF3，SrF2。
6.根据权利要求1所述的偏振器件，其特征在于，所述偏振器件的工作波段为0.2-15μm。
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