[发明专利]使用光电效应校准电子倍增器增益有效
申请号: | 201910609847.2 | 申请日: | 2019-07-08 |
公开(公告)号: | CN110718443B | 公开(公告)日: | 2022-08-02 |
发明(设计)人: | J·T·梅兹;E·B·麦克考雷;S·T·夸姆比 | 申请(专利权)人: | 萨默费尼根有限公司 |
主分类号: | H01J49/10 | 分类号: | H01J49/10;H01J49/26 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 陈洁;何焜 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 使用 光电效应 校准 电子倍增器 增益 | ||
1.一种离子检测器,其包括:
第一级倍增电极,其配置成接收离子束并产生电子;
光子源,其布置成向所述第一级倍增电极提供光子,所述光子具有足够能量以使得所述第一级倍增电极发出光电子;
光电二极管,其配置成测量所述光子源的光子输出;
电子倍增器,其配置成从所述第一级倍增电极接收所述电子或所述光电子并产生与电子或光电子的数量成比例的输出;以及
控制器,其配置成:
接收响应于所述光电子而产生的所述输出;
基于所接收的输出计算所述检测器的增益曲线;
响应于测得的光子输出而调整供应到所述光子源的电流;以及
设定所述电子倍增器或所述第一级倍增电极的电压以实现所述离子束的目标增益。
2.根据权利要求1所述的离子检测器,其中所述光子源是发光二极管、激光源或放电灯。
3.根据权利要求2所述的离子检测器,其中所述发光二极管是紫外发光二极管。
4.根据权利要求1所述的离子检测器,其中所述控制器进一步配置成获得第二输出,所述第二输出具有供应到所述光子源的不同电流或所述电子倍增器的不同电压,且计算出的增益曲线进一步基于所述第二输出。
5.一种质谱仪,其包括根据权利要求1所述的离子检测器。
6.一种用于校准离子检测器的方法,其包括,
向低功函数材料提供光子,所述光子具有足够能量以使得所述低功函数材料发出光电子;
使用电子倍增器产生与光电子的数量成比例的输出;
基于与光电子的数量成比例的所述输出计算所述检测器的增益曲线;
基于所述增益曲线设定所述电子倍增器的电压;
将离子束导引到第一级倍增电极,所述离子束具有足够能量以使得所述第一级倍增电极发出电子;
从所述电子倍增器获得输出;以及
基于来自所述电子倍增器的所述输出确定所述离子束中的离子的数量。
7.根据权利要求6所述的方法,其中向所述第一级倍增电极提供光子包括利用光子源产生光子。
8.根据权利要求7所述的方法,其中所述光子源是发光二极管、激光源或放电灯。
9.根据权利要求8所述的方法,其中所述发光二极管是紫外发光二极管。
10.根据权利要求7所述的方法,其进一步包括使用光电二极管测量所述光子源的输出。
11.根据权利要求10所述的方法,其进一步包括响应于测得的光子输出而调整供应到所述光子源的电流。
12.根据权利要求6所述的方法,其中向所述低功函数材料提供所述光子包括向所述第一级倍增电极提供光子,所述第一级倍增电极包含所述低功函数材料。
13.根据权利要求6所述的方法,其进一步包括获得第二输出,所述第二输出具有供应到光子源的不同电流或所述电子倍增器的不同电压,其中计算所述增益曲线进一步基于所述第二输出。
14.一种离子检测器,其包括:
第一级倍增电极,其配置成接收离子束并产生电子;
低功函数材料;
光子源,其布置成向所述低功函数材料提供光子,所述光子具有足够能量以使得所述低功函数材料发出光电子;
电子倍增器,其配置成从所述第一级倍增电极接收所述电子或从所述低功函数材料接收所述光电子并产生与电子或光电子的数量成比例的输出;以及
控制器,其配置成:
接收响应于所述光电子而产生的所述输出;
基于所接收的输出计算所述检测器的增益曲线;以及
设定所述电子倍增器或所述第一级倍增电极的电压以实现所述离子束的目标增益。
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