[发明专利]一种在线原位式超纯水加热系统

说明书

本发明涉及一种在线原位式超纯水加热系统，包括石英加热器箱体和设于箱体内的石英加热器，石英加热器设有进水端、冲洗排放端、出水端和排气端，各水嘴端的外部皆采用软连接设计，石英加热器内部装有三组螺旋加热丝，加热丝功率根据水温的升高速率设置，而水温则通过安装在加热器顶部的温度传感器全程监控。与现有技术相比，本发明占地空间小，具有实现对超纯水在线原位式、零污染、高安全的加热，有效解决目前工业领域中超纯水多温度可调节的使用需求等优点。

技术领域

本发明涉及工业技术领域，尤其是涉及一种在线原位式超纯水加热系统。

背景技术

超纯水加热设备的设计依据为：超纯水是通过原水(自来水或地下水)经过前级处理、两级反渗透设备、EDI深度脱盐设备、两级抛光树脂设备、紫外线杀菌设备及终端0.22-0.1μm终端微孔设备制成的超纯水，超纯水终端指标≥18.1MΩ.cm(25℃在线监测)。如此高纯度超纯水主要用于微电子行业、光学加工、精密加工行业，在这些行业的加工制造过程中需要使用不同温度的超纯水，因此超纯水在加热过程中不被其它材质所污染是超纯水加热设备亟待解决的问题。然而，现有的超纯水加热设备系统占地面积较大，操作繁琐且不够安全，在超纯水经过水路管道加热过程中仍存在易被污染的问题。

发明内容

本发明的目的就是为了克服上述现有技术存在的缺陷而提供一种避免污染、占地小、用水温度稳定、易于操作的在线原位式超纯水加热系统。

本发明的目的可以通过以下技术方案来实现：

一种在线原位式超纯水加热系统，该系统包括石英加热器箱体、设置在石英加热器箱体内的石英加热器以及用以控制石英加热器进行超纯水加热的控制模块，所述的石英加热器为立式石英玻璃罐体，所述的石英加热器的顶部设有用以对罐体内水温进行精确调控的温度传感器，所述的立式石英玻璃罐体设有排气端、冲洗排放端、罐体下端入水口和罐体上端出水口，所述的排气端设于石英加热器的罐体上方，所述的冲洗排放端设于石英加热器的罐体下方，所述的排气端通过第二耐热非金属材料软连接与排气阀连接，所述的冲洗排放端通过第四耐热非金属材料软连接与排水阀连接，所述的罐体上端出水口处设有用以连接外部出水管路的第三耐热非金属材料软连接，所述的罐体下端入水口处设有用以连接外部入水管路的第一耐热非金属材料软连接，外部入水管路连接原位的超纯水管路。

优选地，所述的石英加热器的内部下方设有上下设置的三组加热丝，三组加热丝为螺旋加热丝，三组加热丝采用三相星形接法。

优选地，所述的加热丝的一端穿过石英加热器的罐体一侧，另一端穿过石英加热器的罐体另一侧后连接加热丝熔断保护装置，该加热丝熔断保护装置与控制模块连接。

优选地，所述的加热丝熔断保护装置包括分别与三组加热丝连接的三组电热丝断线检测元件，所述的电热丝断线检测元件包括与加热丝分别连接的指示灯、蜂鸣器、电流感应线圈。

优选地，所述的控制模块为无触点固态继电器配合多功能控制仪表构成的PID温度调节系统。

优选地，所述的排气端与罐体上端出水口对应设置，所述的冲洗排放端与罐体下端入水口对应设置。

优选地，所述的石英加热器的外部设有防火保温层。

优选地，所述的外部出水管路、所述的外部入水管路采用石英玻璃管道及PVDF管道。

优选地，所述的石英加热器箱体上设有用以外部出水管路、外部入水管路与外界连接的通孔。

优选地，所述的石英加热器箱体由铝合金材质和硬塑板制成，石英加热器箱体的外部设有由防火保温材料制成的保温层。

超纯水经过原位的超纯水管路由罐体下端入水口输送进石英玻璃加热器内，经过三组螺旋加热丝加热升温，当温度传感器测量达到理想水温，经石英玻璃管道或PVDF管道直接输送到用水点，确保超纯水在整个加热过程及输送过程中实现零污染。