[发明专利]一种在线原位式超纯水加热系统

权利要求书

1.一种在线原位式超纯水加热系统，其特征在于，该系统包括石英加热器箱体(18)、设置在石英加热器箱体(18)内的石英加热器(1)以及用以控制石英加热器(1)进行超纯水加热的控制模块，所述的石英加热器(1)为立式石英玻璃罐体，所述的石英加热器(1)的顶部设有用以对罐体内水温进行精确调控的温度传感器(5)，所述的立式石英玻璃罐体设有排气端(4)、冲洗排放端(11)、罐体下端入水口(14)和罐体上端出水口(6)，所述的排气端(4)设于石英加热器(1)的罐体上方，所述的冲洗排放端(11)设于石英加热器(1)的罐体下方，所述的排气端(4)通过第二耐热非金属材料软连接(3)连接排气阀(2)，所述的冲洗排放端(11)通过第四耐热非金属材料软连接(12)连接排水阀(13)，所述的罐体上端出水口(6)处设有用以连接外部出水管路(8)的第三耐热非金属材料软连接(7)，所述的罐体下端入水口(14)处设有用以连接外部入水管路(16)的第一耐热非金属材料软连接(15)，外部入水管路(16)连接原位的超纯水管路。

2.根据权利要求1所述的一种在线原位式超纯水加热系统，其特征在于，所述的石英加热器(1)的内部下方设有上下设置的三组加热丝(10)，三组加热丝(10)为螺旋加热丝，三组加热丝(10)采用三相星形接法。

3.根据权利要求2所述的一种在线原位式超纯水加热系统，其特征在于，所述的加热丝(10)的一端穿过石英加热器(1)的罐体一侧，另一端穿过石英加热器(1)的罐体另一侧后连接加热丝熔断保护装置(17)，该加热丝熔断保护装置(17)与控制模块连接。

4.根据权利要求3所述的一种在线原位式超纯水加热系统，其特征在于，所述的加热丝熔断保护装置(17)包括分别与三组加热丝(10)连接的三组电热丝断线检测元件，所述的电热丝断线检测元件包括与加热丝(10)分别连接的指示灯、蜂鸣器、电流感应线圈。

5.根据权利要求3所述的一种在线原位式超纯水加热系统，其特征在于，所述的控制模块为无触点固态继电器配合多功能控制仪表构成的PID温度调节系统。

6.根据权利要求1所述的一种在线原位式超纯水加热系统，其特征在于，所述的排气端(4)与罐体上端出水口(6)对应设置，所述的冲洗排放端(11)与罐体下端入水口(14)对应设置。

7.根据权利要求1所述的一种在线原位式超纯水加热系统，其特征在于，所述的石英加热器(1)的外部设有防火保温层(9)。

8.根据权利要求1所述的一种在线原位式超纯水加热系统，其特征在于，所述的外部出水管路(8)、所述的外部入水管路(16)采用石英玻璃管道及PVDF管道。

9.根据权利要求8所述的一种在线原位式超纯水加热系统，其特征在于，所述的石英加热器箱体(18)上设有用以外部出水管路(8)、外部入水管路(16)与外界连接的通孔。

10.根据权利要求9所述的一种在线原位式超纯水加热系统，其特征在于，所述的石英加热器箱体(18)由铝合金材质和硬塑板制成，石英加热器箱体(18)的外部设有由防火保温材料制成的保温层。