[发明专利]硅片分选机在审
申请号: | 201910575758.0 | 申请日: | 2019-06-28 |
公开(公告)号: | CN110180798A | 公开(公告)日: | 2019-08-30 |
发明(设计)人: | 蒋旭 | 申请(专利权)人: | 阜宁协鑫光伏科技有限公司 |
主分类号: | B07C5/34 | 分类号: | B07C5/34;B07C5/38 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 闫晓欣 |
地址: | 224400 江苏省盐*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 硅片 脏污 模组 控制系统 硅片传送 分选机 检测 扫描信息 装置停止 预设 破碎 扫描 方便操作 工位 良率 漏检 | ||
1.一种硅片分选机,其特征在于,包括:
硅片传送装置;
脏污检测工位,具有用以扫描硅片的脏污模组;以及
控制系统,用以接收所述脏污模组的扫描信息,并根据所述脏污模组的扫描信息判断硅片是否存在碎片异常;当连续预设个硅片被检测为存在碎片异常时,所述控制系统控制所述硅片传送装置停止运行。
2.根据权利要求1所述的硅片分选机,其特征在于,当连续预设个硅片被判断为存在碎片异常时,所述控制系统控制所述硅片分选机停机。
3.根据权利要求1所述的硅片分选机,其特征在于,所述脏污模组为电荷耦合器件图像传感器。
4.根据权利要求3所述的硅片分选机,其特征在于,当连续五个硅片被判断为存在碎片异常时,所述控制系统控制所述硅片传送装置停止运行。
5.根据权利要求1所述的硅片分选机,其特征在于,还包括警报装置;当连续预设个硅片被检测为存在碎片异常时,所述控制系统可发送信号给所述警报装置以发出警报。
6.根据权利要求5所述的硅片分选机,其特征在于,所述警报装置为声音警报器。
7.根据权利要求1所述的硅片分选机,其特征在于,还包括显示屏;当连续预设个硅片被检测为存在碎片异常时,所述控制系统发送信号给所述显示屏,以使所述显示屏弹出报警对话框。
8.根据权利要求1所述的硅片分选机,其特征在于,还包括与所述硅片传送装置对接的待复测硅片收集容器;当连续预设个硅片被检测为存在碎片异常时,所述控制系统控制所述硅片传送装置将连续的预设个被检测为存在碎片异常的硅片传送至所述待复测硅片收集容器。
9.根据权利要求1所述的硅片分选机,其特征在于,还包括第一碎片检测工位;所述硅片传送装置可将第一碎片检测工位检测合格的硅片运输至所述脏污检测工位。
10.根据权利要求9所述的硅片分选机,其特征在于,还包括第二碎片检测工位,所述硅片传送装置可将所述脏污检测工位检测存在碎片异常的硅片运输至所述第二碎片检测工位。
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