[发明专利]一种抛光装卸部件模块在审
| 申请号： | 201910573090.6 | 申请日： | 2019-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN110103119A | 公开（公告）日： | 2019-08-09 |
| 发明（设计）人： | 沈凌寒;杨思远 | 申请（专利权）人： | 杭州众硅电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B27/00 | 分类号： | B24B27/00;B24B37/34;B24B37/10;B24B37/30;B24B53/017 |
| 代理公司： | 上海元好知识产权代理有限公司 31323 | 代理人： | 张妍;刘琰 |
| 地址： | 311305 浙江省杭州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 抛光模块 装卸模块 抛光 装卸位置 装卸台 装卸部件 抛光头 装卸 布局简化 排列方向 设备结构 占地空间 整体模块 垂直的 模块化 抛光垫 移动 拼接 清洗 传输 制造 | ||
1.一种抛光装卸部件模块，其特征在于，包含一个装卸模块和两个抛光模块，装卸模块居中，两个抛光模块位于其两侧，装卸模块包含装卸台模块，所述装卸模块上在与两个抛光模块排列方向相垂直的方向上有两个装卸位置，所述装卸台模块可在所述两个装卸位置之间来回移动，分别对应于所述两个抛光模块。
2.根据权利要求1所述的抛光装卸部件模块，其特征在于所述两个装卸位置上分别设置一个装卸台模块，分别对应所述两个抛光模块。
3.根据权利要求2所述的抛光装卸部件模块，其特征在于所述装卸模块包含固定架(20)、水槽(11)、第一装卸台模块(18)、第二装卸台模块(15)、第一装卸台固定块(19)、第二装卸台固定块(14)、第一隔离罩(12)、第二隔离罩(17)，所述第一装卸台模块(18)对应第一装卸位置(1)，第二装卸台模块(15)对应第二装卸位置(6)，水槽(11)和第一装卸台固定块(19)、第二装卸台固定块(14)固定安装在固定架(20)上，两个隔离罩分别固定在对应的装卸台固定台上，使装卸台模块下部与液体隔离，第一装卸台模块(18)、第二装卸台模块(15)分别固定在第一装卸台固定块(19)和第二装卸台固定块(14)上，对应第一装卸位置(1)和第二装卸位置(6)。
4.根据权利要求1或2所述的抛光装卸部件模块，其特征在于所述抛光模块包含固定平台，抛光垫，抛光头，抛光转轴，抛光垫位于固定平台上，抛光转轴带动抛光头旋转至装卸位置。
5.根据权利要求1所述的抛光装卸部件模块，其特征在于所述装卸模块包含固定架(20)、水槽(11)、直线运动模块(21)、装卸台模块(22)、装卸台固定块(23)、隔离罩(24)，所述水槽(11)和直线运动模块(21)固定在固定架(20)上，装卸台固定块(23)固定在直线运动模块(21)的滑动块上，装卸台模块(22)固定在装卸台固定块(23)上，并且装卸台固定块(23)下部固定有隔离罩(24)使装卸台模块下部与液体隔离，直线运动模块(21)可以使装卸台模块(22)在两个装卸位置即第一装卸位置(1)和第二装卸位置(6)之间来回移动。
6.根据权利要求1或2所述的抛光装卸部件模块，其特征在于所述装卸模块的第一装卸位置(1)和第二装卸位置(6)上分别设置有第一喷嘴模块(13)和第二喷嘴模块(16)，第一喷嘴模块(13)和第二喷嘴模块(16)都固定在固定架(20)上。
7.根据权利要求6所述的抛光装卸部件模块，其特征在于所述第一喷嘴模块(13)和第二喷嘴模块(16)分别设置在第一装卸位置(1)和第二装卸位置(6)的边缘。
8.根据权利要求1或2所述的抛光装卸部件模块，其特征在于所述装卸台模块可在垂直方向上升和下降，与抛光头完成晶圆移转。
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