[发明专利]薄膜涂布装置及清洗装置、清洗系统

说明书

本发明涉及显示技术领域，提出一种薄膜涂布装置，该薄膜涂布装置包括：结构主体、多个管道组件、电磁阀组。结构主体包括位于涂布开口两侧的两涂布侧壁以及容纳清洗液的容纳腔，两涂布侧壁沿涂布开口的延伸方向设置有多个侧壁开口；管道组件包括一个主管道以及与主管道连通的至少一个分支管道，主管道与容纳腔连通，分支管道分别与位于同一位置的侧壁开口连通；电磁阀组包括多个电磁阀，电磁阀一一对应设置于主管道内，电磁阀组用于受控于一控制信号组，通过控制不同的电磁阀以控制不同位置的侧壁开口上清洗液的流量。本公开提供的薄膜涂布装置能够降低该薄膜涂布装置清洗时清洗液渗入涂布开口的风险。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种薄膜涂布装置及清洗装置、清洗系统。

背景技术

薄膜涂布装置是用于将薄膜材料形成薄膜的装置，薄膜涂布装置可以应用在各种技术领域中，例如，在显示技术领域中，薄膜涂布装置可以用于将高粘度柔性材料形成柔性衬底。为了降低薄膜涂布装置的涂布不良，薄膜涂布装置需要对涂布开口位置及开口两侧的侧壁进行定期清洗。

相关技术中，通常通过清洗装置对涂布开口及侧壁进行定期清洗，清洗装置在对涂布开口及侧壁进行清洗时，需要向涂布开口和侧壁位置喷射清洗液以提高清洗效率。

然而，清洗液长时间位于涂布开口处会造成清洗液渗入薄膜材料中，从而造成薄膜材料变质，薄膜涂布装置涂布不良。

需要说明的是，在上述背景技术部分发明的信息仅用于加强对本发明的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

发明内容

本发明的目的在于提供一种薄膜涂布装置及清洗装置、清洗系统。该薄膜涂布装置能够降低薄膜涂布装置清洗时清洗液渗入薄膜材料的风险。

本发明的其他特性和优点将通过下面的详细描述变得显然，或部分地通过本发明的实践而习得。

根据本发明的一个方面，提供一种薄膜涂布装置，该薄膜涂布装置包括：结构主体、多个管道组件、电磁阀组。结构主体包括位于涂布开口两侧的两涂布侧壁以及容纳清洗液的容纳腔，两所述涂布侧壁沿所述涂布开口的延伸方向设置有多个侧壁开口；所述管道组件包括一个主管道以及与所述主管道连通的至少一个分支管道，所述主管道与所述容纳腔连通，所述分支管道分别与位于同一位置的所述侧壁开口连通；电磁阀组包括多个电磁阀，所述电磁阀一一对应设置于所述主管道内，所述电磁阀组用于受控于一控制信号组，通过控制不同的所述电磁阀以控制不同位置上所述侧壁开口的清洗液流量。

本发明的一种示例性实施例中，所述容纳腔包括第一容纳腔和第二容纳腔；两所述涂布侧壁包括第一涂布侧壁和第二涂布侧壁；所述第一涂布侧壁上的开口通过所述管道组件与所述第一容纳腔连通，所述第二涂布侧壁上的开口通过所述管道组件与所述第二容纳腔连通。

本发明的一种示例性实施例中，两所述涂布侧壁沿所述涂布开口延伸方向分别设置有一排侧壁开口，且两所述涂布侧壁上的所述侧壁开口相对设置；所述管道组件包括一个主管道和两个分支管道，所述主管道与所述容纳腔连通，两所述分支管道分别与两所述涂布侧壁上相对设置的两侧壁开口连通。

本发明的一种示例性实施例中，所述管道组件与所述结构主体一体成型。

本发明的一种示例性实施例中，所述结构主体还包括与所述容纳腔连通的供液口，所述供液口用于向所述容纳腔提出所述清洗液。

根据本发明的一个方面，提供一种清洗装置，用于清洗上述的薄膜涂布装置，该清洗装置包括：清洗主体、位置传感器、处理单元。清洗主体用于清洗所述涂布侧壁和所述涂布开口；位置传感器设置于所述清洗主体上，用于检测所述清洗主体的位置信息；处理单元与所述位置传感器连接，用于根据所述清洗主体的位置信号生成所述控制信号组；其中，所述控制信号组用于控制所述电磁阀组，以使所述清洗主体所在位置的所述侧壁开口有清洗液流出。