[发明专利]薄膜涂布装置及清洗装置、清洗系统

权利要求书

1.一种薄膜涂布装置，其特征在于，包括：

结构主体，包括位于涂布开口两侧的两涂布侧壁以及容纳清洗液的容纳腔，两所述涂布侧壁沿所述涂布开口的延伸方向设置有多个侧壁开口；

所述结构主体在所述涂布开口的延伸方向上包括多个连续区域；

多个管道组件，所述管道组件包括一个主管道以及与所述主管道连通的至少一个分支管道，所述主管道与所述容纳腔连通，所述分支管道分别与位于同一连续区域的所述侧壁开口连通；

电磁阀组，包括多个电磁阀，所述电磁阀一一对应设置于所述主管道内，所述电磁阀组用于受控于一控制信号组，通过控制不同的所述电磁阀以控制不同连续区域上所述侧壁开口的清洗液流量。

2.根据权利要求1所述的薄膜涂布装置，其特征在于，

所述容纳腔包括第一容纳腔和第二容纳腔；

两所述涂布侧壁包括第一涂布侧壁和第二涂布侧壁；

所述第一涂布侧壁上的开口通过所述管道组件与所述第一容纳腔连通，所述第二涂布侧壁上的开口通过所述管道组件与所述第二容纳腔连通。

3.根据权利要求1所述的薄膜涂布装置，其特征在于，

两所述涂布侧壁沿所述涂布开口延伸方向分别设置有一排侧壁开口，且两所述涂布侧壁上的所述侧壁开口相对设置；

所述管道组件包括一个主管道和两个分支管道，所述主管道与所述容纳腔连通，两所述分支管道分别与两所述涂布侧壁上相对设置的两侧壁开口连通。

4.根据权利要求1所述的薄膜涂布装置，其特征在于，所述管道组件与所述结构主体一体成型。

5.根据权利要求1所述的薄膜涂布装置，其特征在于，所述结构主体还包括与所述容纳腔连通的供液口，所述供液口用于向所述容纳腔提供所述清洗液。

6.一种清洗装置，用于清洗权利要求1-5任一项所述的薄膜涂布装置，其特征在于，包括：

清洗主体，用于清洗所述涂布侧壁和所述涂布开口；

位置传感器，设置于所述清洗主体上，用于检测所述清洗主体的位置信息；

处理单元，与所述位置传感器连接，用于根据所述清洗主体的位置信号生成所述控制信号组；

其中，所述控制信号组用于控制所述电磁阀组，以使所述清洗主体所在位置的所述侧壁开口有清洗液流出。

7.根据权利要求6所述的清洗装置，其特征在于，所述清洗主体包括用于清洗所述涂布侧壁和所述涂布开口的清洗部以及支撑所述清洗部的基座。

8.根据权利要求7所述的清洗装置，其特征在于，所述清洗装置还包括：

两负压管，固定于所述基座上，且分别位于所述清洗部沿其清洗方向的两侧。

9.根据权利要求7所述的清洗装置，其特征在于，所述清洗部包括用于与所述涂布侧壁、所述涂布开口接触的清洗面，所述清洗面上设置有至少一个负压孔。

10.一种清洗系统，其特征在于，包括权利要求1-5任一项所述的薄膜涂布装置以及权利要求6-9任一项所述的清洗装置。