[发明专利]深度的检测系统和方法在审

专利信息
申请号: 201910544453.3 申请日: 2019-06-21
公开(公告)号: CN110244309A 公开(公告)日: 2019-09-17
发明(设计)人: 杨萌;李建军;戴付建;赵烈烽 申请(专利权)人: 浙江舜宇光学有限公司
主分类号: G01S17/08 分类号: G01S17/08;G01B11/22
代理公司: 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 代理人: 董文倩
地址: 315499 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 检测系统 偏光 被测对象 调制光 成像设备 偏振设备 偏振 相位差计算 处理单元 光源装置 光强 入射 反射 成像 图像 发射 检测 申请
【权利要求书】:

1.一种深度的检测系统,其特征在于,包括:

光源装置,用于发射调制光;

第一偏振设备,用于对经过被测对象反射的所述调制光在多个偏振方向上进行检偏得到多个检偏光;

成像设备,位于所述第一偏振设备的一侧,所述成像设备用于根据入射的所述检偏光成像,形成图像;

处理单元,至少用于根据所述检偏光在第一方向上的分量与对应的所述调制光之间的相位差计算所述被测对象的深度,其中,所述第一方向为所述检偏光的光强最小的所述偏振方向。

2.根据权利要求1所述的检测系统,其特征在于,所述检测系统还包括:

第二偏振设备,位于所述光源装置的一侧,所述第二偏振设备用于将所述调制光的偏振状态调整为非偏振状态、圆偏振状态、椭圆偏振状态或线偏振状态。

3.根据权利要求2所述的检测系统,其特征在于,所述光源装置用于发射多种所述调制光,多种所述调制光的发射时间段相互间隔。

4.根据权利要求3所述的检测系统,其特征在于,各所述调制光为非偏振状态的光,在所述处理单元根据一个所述调制光确定所述第一方向后,所述第二偏振设备还用于将其他的所述调制光调整为偏振方向为所述第一方向的偏振光。

5.根据权利要求3或4所述的检测系统,其特征在于,所述第二偏振设备还用于在至少一个所述检偏光的第一方向的光强和第二方向的光强的比值大于预定阈值的情况下,增大其他的所述调制光在所述第一方向上的光强,所述第二方向为所述检偏光的光强最大的所述偏振方向。

6.根据权利要求3所述的检测系统,其特征在于,所述第二偏振设备对不同的所述调制光调整为不同的所述偏振状态。

7.根据权利要求2所述的检测系统,其特征在于,多种所述调制光中,频率较大的所述调制光的振幅小于频率较小的所述调制光的振幅。

8.根据权利要求2所述的检测系统,其特征在于,所述处理单元包括:

获取模块,用于获取在时间上相邻的任意两种所述调制光的振幅的第一比值以及对应的两种反射光的振幅的第二比值,所述反射光为被所述被测对象反射的所述调制光;

计算模块,在所述第一比值与所述第二比值的差值在预定范围内的情况下,采用对应的两种调制光以及对应的所述检偏光计算所述被测对象的深度。

9.根据权利要求1所述的检测系统,其特征在于,所述光源装置包括VCSEL激光器,且所述VCSEL激光器发射波长范围在800nm-950nm之间的激光。

10.一种深度的检测方法,其特征在于,所述检测方法包括:

发射调制光;

对经过被测对象反射的所述调制光在多个偏振方向上进行检偏得到多个检偏光;

根据入射的所述检偏光成像,形成图像;

根据所述检偏光在第一方向上的分量与对应的所述调制光之间的相位差计算所述被测对象的深度,其中,所述第一方向为所述检偏光的光强最小的所述偏振方向。

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