[发明专利]一种真空激光焊接装置及焊接方法

权利要求书

1.一种真空激光焊接装置，包括激光器(1)、干涉装置(2)、真空焊接室(3)及光纤(6)，所述干涉装置(2)安装在真空焊接室(3)上，所述激光器(1)的激光输出端与干涉装置(2)的激光输入端通过光纤(6)相连，还包括真空装置(4)，所述真空装置(4)用于对真空焊接室(3)的内部空间进行抽真空处理，其特征在于，还包括用于对真空焊接室(3)内工件上熔池进行熔池深度检测的检测装置，所述检测装置为激光干涉装置。

2.根据权利要求1所述的一种真空激光焊接装置，其特征在于，所述激光干涉装置包括激光发生器(2-1)、分光镜(2-2)、锥角反射镜(2-3)、准直镜(2-4)、二向色镜(2-5)及聚焦镜(2-6)，所述干涉装置(2)与激光干涉装置共用二向色镜(2-5)及聚焦镜(2-6)。

3.根据权利要求1所述的一种真空激光焊接装置，其特征在于，还包括控制装置(5)，所述控制装置(5)包括用于控制激光器(1)工作参数的激光控制单元(5-1)、用于控制真空装置(4)工作状态的真空度控制单元(5-2)、用于控制激光干涉装置工作的干涉测量控制单元(5-3)、用于与激光干涉装置测量结果输出端相连的监视器(5-4)。

4.根据权利要求1所述的一种真空激光焊接装置，其特征在于，所述真空装置(4)包括真空泵组(4-1)，所述真空泵组(4-1)包括主抽气泵(4-1-1)及辅抽气泵(4-1-2)，主抽气泵(4-1-1)及辅抽气泵(4-1-2)的入口端均分别通过抽气管(4-4)与真空焊接室(3)的内部空间相通。

5.根据权利要求4所述的一种真空激光焊接装置，其特征在于，辅抽气泵(4-1-2)与真空焊接室(3)之间的抽气管(4-4)上还串联有比例阀(4-3)。

6.根据权利要求4所述的一种真空激光焊接装置，其特征在于，还包括废气处理装置(4-2)，所述主抽气泵(4-1-1)及辅抽气泵(4-1-2)的出口端均分别通过排气管(4-5)与废气处理装置(4-2)的气体入口端相连。

7.根据权利要求4所述的一种真空激光焊接装置，其特征在于，还包括用于过滤金属蒸气的过滤器(3-6)，所述过滤器(3-6)连接在辅抽气泵(4-1-2)与真空焊接室(3)之间的抽气管(4-4)的入口端上。

8.根据权利要求1所述的一种真空激光焊接装置，其特征在于，真空焊接室(3)包括其上设置有观察窗(3-2)的观察门(3-1)，观察门(3-1)与真空焊接室(3)其他部分的配合面上还设置有密封条(3-3)，观察门(3-1)上还安装有把手(3-5)，还包括用于实现观察门(3-1)与真空焊接室(3)其他部分配合的夹紧机构(3-4)。

9.根据权利要求8所述的一种真空激光焊接装置，其特征在于，还包括安装在真空焊接室(3)上的进气阀(3-7)，所述进气阀(3-7)用于实现真空焊接室(3)与外界大气导通状态控制。

10.一种真空激光焊接方法，其特征在于，采用如权利要求1至9中任意一项所述的焊接装置实现真空激光焊接，在焊接之前，采用所述真空装置(4)对真空焊接室(3)进行抽真空处理，且使得真空焊接室(3)内部空间的绝对压力小于或等于10帕斯卡；在进行激光焊接过程中，采用所述激光干涉装置对熔池深度进行监测。