[发明专利]扫描电镜样品的定位装置

权利要求书

1.一种扫描电镜样品的定位装置，其特征在于，包括：T形台和与所述T形台配合插接的样品架，其中，

所述T形台包括平面支撑件和第一柱体，所述平面支撑件的上表面为多边形，所述第一柱体的顶端与所述平面支撑件底部连接，所述第一柱体用于支撑所述平面支撑件，所述平面支撑件的上表面用于放置样品；

所述样品架的上表面设置有多个凹槽，所述凹槽为多边形，用于插接所述平面支撑件，所述多个凹槽中的每个凹槽中心设置有与所述第一柱体匹配的第一柱孔，所述第一柱孔用于插接所述T形台的第一柱体，所述T形台的平面支撑件位于所述凹槽内，其中，所述平面支撑件被包含于所述凹槽中，且所述平面支撑件中的至少一条边和至少一个顶点与多边形凹槽抵接，且所述平面支撑件的顶点数小于或等于所述凹槽的顶点数。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述样品架上表面的凹槽所形成的多边形为正多边形。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述T形台的平面支撑件厚度大于或等于所述凹槽的深度；

所述T形台中第一柱体的高度小于或等于所述样品架的厚度。

4.根据权利要求1-3任一项所述的装置，其特征在于，所述样品架的侧表面还包括多个圆孔，所述多个圆孔与第一柱孔一一对应，且所述多个圆孔与所述第一柱孔垂直设置，所述多个圆孔用于固定插接在第一孔柱中的所述第一柱体。

5.根据权利要求1-3任一项所述的装置，其特征在于，所述样品架上表面的凹槽周边设置有第一标记，所述第一标记用于记录所述T形台插接在所述样品架上表面的位置。

6.根据权利要求1-3任一项所述的装置，其特征在于，所述样品架上表面的凹槽所形成的正多边形的顶点周边设置有第二标记，所述第二标记用于记录所述T形台插接在所述样品架上表面的角度。

7.根据权利要求1-3任一项所述的装置，其特征在于，所述样品架上表面的多个正多边形凹槽沿直线或曲线间隔排列。

8.根据权利要求1-3任一项所述的装置，其特征在于，所述T形台和所述样品架为金属材质。

9.根据权利要求1-3任一项所述的装置，所述装置还包括电镜样品台，所述样品架的底面与所述电镜样品台的上表面衔接固定。