[发明专利]一种激光直接成像设备对准相机位置关系自动标定方法在审
| 申请号： | 201910534138.2 | 申请日： | 2019-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN110308620A | 公开（公告）日： | 2019-10-08 |
| 发明（设计）人： | 尤勇;严孝年 | 申请（专利权）人： | 合肥芯碁微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人： | 奚华保 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新区*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 对准 相机 激光直接成像 设备对准 相机位置 自动标定 测量 吸盘 中心位置处 标定位置 基础台面 位置误差 有效解决 中心坐标 准确测量 准确度 移动 | ||
【权利要求书】：
1.一种激光直接成像设备对准相机位置关系自动标定方法，其特征在于：该方法包括以下步骤：
（1）建立激光直接成像设备的基础台面的直角坐标系；
（2）在基础台面上粘贴圆形MARK1，使激光直接成像设备中左侧的对准相机可以移动到该MARK1的中心处；设MARK1中心的坐标为（X1，Y1）；
（3）在基础台面上粘贴圆形MARK2，使激光直接成像设备中右侧的对准相机可以移动到该MARK2的中心处；设MARK2中心的坐标为（X2，Y2）；
（4）计算MARK1与MARK2在X方向上的间距DX=X2－X1；
（5）计算MARK1与MARK2在Y方向上的间距DY=Y2－Y1；
（6）采用激光直接成像设备中左侧的对准相机测量MARK1中心的坐标（X1′，Y1′）；
（7）采用激光直接成像设备中右侧的对准相机测量MARK2中心的坐标（X2′，Y2′）；
（8）采用公式EX= X2′－X1′－DX计算激光直接成像设备中左侧对准相机与右侧对准相机在X方向上的位置关系误差EX；
（9）采用公式EY= Y2′－Y1′－DY计算激光直接成像设备中左侧对准相机与右侧对准相机在Y方向上的位置关系误差EY。
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