[发明专利]水检测压力传感器

说明书

本发明题为“水检测压力传感器”。本公开提供了一种水检测压力感测设备，包括具有腔体的金属外壳。压力传感器设置在裸片上并被配置为响应于压力变化而生成信号。保护介质至少部分地填充腔体并覆盖裸片。一个或多个电极设置在裸片上并用于检测保护介质上是否存在水滴。

技术领域

本发明整体涉及传感器技术，并且更具体地涉及一种水检测压力传感器。

背景技术

便携式通信设备(例如，智能电话和智能手表)越来越多地配备有环境传感器，例如压力传感器、温度传感器和湿度传感器、气体传感器和颗粒物(PM)传感器。例如，压力传感器可在智能手表或智能电话中启用健康和健身功能。然后可将测量的压力(例如，由处理器)转换为与压力相关的其他参数，例如高度、运动、流量或其他参数。压力传感器可用于测量气体或液体环境中的压力。

压力传感器在技术、设计、性能和应用方面可能有显著不同。就采用的技术而言，压力传感器可分类为例如压电、电容、电磁、光学或电位压力传感器。智能电话或智能手表中所使用的微机电系统(MEMS)型压力传感器通常为电容式压力传感器。使用临时凝胶的压力传感器已广泛用于微电子设备中，但凝胶可能易受环境污染和水堵塞的影响。需要能够检测凝胶上是否存在水滴的压力传感器。

附图说明

本主题技术的一些特征在所附权利要求书中被示出。然而，出于解释的目的，在以下附图中阐述了本主题技术的若干实施方案。

图1A至图1C是示出根据本主题技术的一个或多个方面的示例性水检测压力感测设备的不同视图的图示。

图2A-2B是示出根据本主题技术的一个或多个方面的包括加热元件的示例性水检测压力感测设备的不同视图的图示。

图3A-3B为示出根据本主题技术的一个或多个方面的水检测压力感测设备的示例性水检测机制的剖视图的图示。

图4是示出根据本主题技术的一个或多个方面的装配示例性水检测压力感测设备的过程的流程图。

图5是示出示例性无线通信设备的框图，在该示例性无线通信设备内可集成本主题技术的一个或多个水检测压力感测设备。

具体实施方式

下面示出的具体实施方式旨在作为本主题技术的各种配置的描述并且不旨在表示本主题技术可被实践的唯一配置。附图被并入本文并且构成具体实施方式的一部分。具体实施方式包括具体的细节旨在提供对本主题技术的透彻理解。然而，本主题技术不限于本文所述的具体细节，并且可在没有一个或多个具体细节的情况下来实践。在一些情况下，以框图形式示出了结构和部件，以便避免使本主题技术的概念模糊。

本主题技术涉及一种水检测微型压力感测设备(例如，具有约几毫米的尺寸)。本主题技术的压力感测设备包括用于检测水滴的一个或多个电极，并且在一些具体实施中，包括用于使水滴蒸发的一个或多个加热元件。本发明所公开的水检测压力感测设备包括金属外壳、压力传感器、保护介质和一个或多个电极。压力传感器可以是电容式或压阻式压力传感器。金属外壳包括腔体，并且压力传感器设置在腔体内的裸片上。压力传感器可响应于压力变化而产生信号。保护介质至少部分地填充腔体并覆盖裸片。电极可设置在裸片上以检测保护介质上是否存在水滴。

在一个或多个具体实施中，电极为四个拐角电极并且由对环境化学物质具有抗性的导电材料制成。将四个拐角电极与金属外壳耦合以形成共同电容或四个不同的电容。共同电容或四个不同电容的值可受水滴存在的影响(例如，大幅增加)。在一些具体实施中，在压力传感器周围形成环形电极。环形电极可以是正方形或圆形电极，并且与金属外壳形成电容。电容值可受到水滴存在的影响。在一些具体实施中，压力感测设备包括形成在裸片上的可使水滴蒸发的一个或多个电阻加热元件。电阻加热元件可围绕电极形成。在一些具体实施中，一个或多个电阻加热元件可安装在腔体内的裸片周围。