[发明专利]一种激光开封机

说明书

本发明提供了一种激光开封机，所述激光开封机包括激光发生模块和作业平台模块；所述激光发生模块包括用于聚焦激光的透镜和三个以上的第二传感器；所述作业平台模块包括模具、校正组件、转动平台组件和三轴移动组件，所述模具在设定范围内自由运动；所述模具上设置有第一传感器，所述第一传感器基于所述转动平台组件形成环状的第一感应区。通过第一感应区与三个以上的第二传感器之间的相互感应，实现模具与透镜之间的位置校正，校正效果良好，具有良好的实用性。

技术领域

本发明涉及激光领域，具体涉及到一种激光开封机。

背景技术

激光开封机的工作原理是利用高能激光蚀刻掉芯片或者电子元器件的塑封外壳，从而光学观测或者电气性能测试提供了可能性，以便于实现X射线等无损检测无法实现的功能。

激光开封机主要由激光设备和工作平台组成，激光设备上设置有激光头，激光头的位置固定不动，内部通过偏振镜调整激光光路，从而实现激光的轨迹控制；工作平台置于激光头下方，芯片基于一芯片模具固定在工作平台上；作业时，高能激光在激光头的焦点平面上按照预设轨迹对芯片进行开封。

具体实施中，上位机通过程序控制激光头沿特定轨迹打点以完成激光开封作业，激光设备坐标系与上位机程序坐标系位置是相一致的，而芯片受芯片模具、工作平台等部件影响，芯片坐标系与激光设备坐标系的并非是完全一致的。因此，在作业前需要调整芯片位置，使芯片坐标系与激光设备坐标系保持一致。

现有激光开封机为了保证芯片坐标系与激光设备坐标系，通常将工作平台和激光设备固定在同一底座上，以保证二者之间的相互固定，一方面，工作平台和激光设备固定一体，设备整体体积较大，运输便利性较差；另一方面，实际实施中，芯片一般需要通过芯片模具固定在工作平台上，芯片模具在工作平台上的位置受自身结构和装配精度的影响，并非是固定的，因此，很难保证芯片坐标系和激光设备坐标系是完全一致的。

发明内容

针对于激光设备坐标系和芯片坐标系不重合的问题，本发明实施例体用了一种激光开封机，该激光开封机具有激光设备坐标系和芯片位置坐标系自动调节功能，具有良好的实用性。

相应的，本发明提供了一种激光开封机，其特征在于，所述激光开封机包括激光发生模块和作业平台模块；

所述激光发生模块包括用于聚焦激光的透镜和三个以上的第二传感器，所述三个以上的第二传感器固定在所述透镜外周，且所述三个以上的第二传感器与所述透镜轴线的距离相等；

所述作业平台模块设置在所述透镜的出光面一侧，所述作业平台模块包括模具、校正组件、转动平台组件和三轴移动组件；所述模具设置在所述校正组件上，所述转动平台组件设置在所述校正组件上，所述校正组件设置在所述三轴移动组件上；

所述模具基于所述三轴移动组件在设定范围内平移运动，所述模具基于所述校正组件在设定范围内转动；

所述模具上设置有第一传感器，所述第一传感器基于所述转动平台组件形成环状的第一感应区。

可选的实施方式，所述激光发生模块还包括激光发生组件和振镜扫描组件；所述激光发生组件包括激光发生器，所述激光发生器的激光输出端与所述振镜扫描组件的输入端相对，所述振镜扫描组件的输出端与所述透镜的进光面相对。

可选的实施方式，所述三轴移动组件包括竖向移动组件，所述竖向移动组件包括竖向运动板、竖向底板、竖向顶板、若干根竖向光轴、竖向丝杆和竖向电机；

所述竖向顶板设置在竖向底板上方，每根所述竖向光轴的两端分别固定在所述竖向底板和竖向顶板上；

所述竖向丝杆上端设置在所述竖向顶板上，所述竖向丝杆下端基于竖向电机驱动绕自身轴线旋转；

所述竖向运动板滑动配合在所述若干根竖向光轴上，所述竖向运动板基于螺纹配合在所述竖向丝杆上。