[发明专利]一种真空玻璃抽气方法及抽气装置

权利要求书

1.一种真空玻璃抽气方法，用于单真空室抽气，其特征在于，真空室腔体连接有主抽气管路和支线抽气管路，所述主抽气管路的直径大于所述支线抽气管路的直径，该抽气方法包括如下步骤：

（1）当待封口的真空玻璃准备进入真空室时，关闭与真空室腔体连接的主抽气管路及支线抽气管路；

（2）当待封口的真空玻璃进入真空室后，关闭真空室门，开启支线抽气管路对真空室腔体进行抽真空；

（3）当真空室腔体气压降低到第一设定压力值500～20000Pa时，关闭支线抽气管路，并打开主抽气管路对真空室腔体进行快速抽气，直至真空室内压力降到目标压力值以下，目标压力值为1×10^-6 Pa～1Pa；

（4）然后保持主抽气管路的持续抽气，在真空室内完成待封口真空玻璃的后续工艺流程。

2.一种真空玻璃抽气方法，用于多真空室抽气，其特征在于，第一真空室腔体连接有主抽气管路和支线抽气管路，所述主抽气管路的直径大于所述支线抽气管路的直径，该抽气方法包括如下步骤：

（1）当待封口的真空玻璃准备进入第一真空室时，关闭与第一真空室腔体连接的主抽气管路及支线抽气管路；

（2）当待封口的真空玻璃进入第一真空室后，关闭真空室门，开启支线抽气管路对第一真空室腔体进行抽真空；

（3）当第一真空室腔体气压降低到第一设定压力值500～20000Pa时，关闭支线抽气管路，并打开主抽气管路对第一真空室腔体进行快速抽气；

（4）当第一真空室腔体气压降低到第二设定压力值1～50Pa时，将待封口真空玻璃依次输送至多个后续真空室，由后续真空室的抽气装置持续对待封口真空玻璃抽气，直至真空室内压力降到目标压力值以下，目标压力值为1×10^-6 Pa～1Pa；

（5）然后保持抽气装置的持续抽气，并在真空室内完成待封口真空玻璃的后续工艺过程。

3.根据权利要求1或2所述的一种真空玻璃抽气方法，其特征在于，所述支线抽气管路和主抽气管路相互独立设置或者支线抽气管路与主抽气管路并联设置。

4.根据权利要求1或2所述的一种真空玻璃抽气方法，其特征在于，所述支线抽气管路的直径取值范围为10-60mm，所述主抽气管路的直径取值范围为50-250mm。

5.根据权利要求2所述的一种真空玻璃抽气方法，其特征在于，仅在第一真空室设有支线抽气管路。

6.一种用于如权利要求1所述真空玻璃抽气方法的真空玻璃抽气装置，包括真空室（11）和用于为真空室（11）提供真空的主抽气管路（6），其特征在于：在主抽气管路（6）上还设置有一个支线抽气管路（10），且所述主抽气管路（6）的直径大于所述支线抽气管路（10）的直径；在所述主抽气管路（6）的上游连接有抽气装置，所述抽气装置为一级泵、二级泵和三级泵，一级泵、二级泵和三级泵串联在主管上，主管与所述主抽气管路连接，在所述主管一侧还设有第一旁通管和第二旁通管，第一旁通管上设有阀门Ⅱ（7），阀门Ⅱ（7）和二级泵并联连接，第二旁通管上设置有阀门Ⅲ（8），阀门Ⅲ（8）和三级泵并联连接。

7.根据权利要求6所述的一种真空玻璃抽气装置，其特征在于：所述主抽气管路（6）上设置有阀门Ⅰ（5），支线抽气管路（10）与阀门Ⅰ（5）并联连接，在支线抽气管路（10）上设置有阀门Ⅳ（9）。

8.根据权利要求6所述的一种真空玻璃抽气装置，其特征在于：所述真空室（11）上设有真空计（4）。

9.根据权利要求6所述的一种真空玻璃抽气装置，其特征在于：所述主抽气管路（6）上设有真空计（4）。

10.根据权利要求6所述的一种真空玻璃抽气装置，其特征在于：所述真空室（11）上以及所述主抽气管路（6）上各设有一个真空计（4）。