[发明专利]用于三维加速度计磁悬浮体的制备方法

权利要求书

1.一种用于三维加速度计磁悬浮体的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤（1）、形成软磁材料的内层；

步骤（2）、在内层外表面固连的六面永磁层外层形成六面体结构；

步骤（3）、通过充磁使每个面上的永磁层具有剩磁磁场且使相对两个面的永磁层磁极极性相反；

步骤（4）、形成六面都具有剩磁磁场的磁悬浮体，在六面永磁层磁场的作用下所述磁悬浮体的内层磁化并在其内形成完整的磁通路；

其中，所述内层用于导通六面永磁层的磁场和减少永磁层退磁场以及用于导通六面永磁层的磁场并与外界一起形成闭合磁路；

在所述步骤（3）中，所述外层的永磁材料与内层的软磁材料固连后再对其充磁。

2.根据权利要求1所述的用于三维加速度计磁悬浮体的制备方法，其特征在于，所述磁悬浮体六面剩磁磁场均匀。

3.根据权利要求1或2所述的用于三维加速度计磁悬浮体的制备方法，其特征在于，在所述步骤（3）中，采用充磁装置进行充磁，该充磁装置包括竖直设置的下充磁头和位于下充磁头正上方的上充磁头，本装置还包括四个圆周分布且水平设置的侧向面充磁头，所述的侧向面充磁头位于下充磁头和上充磁头之间，在下充磁头的上端设有第一充磁接触平面，在上充磁头的下端设有与所述的第一充磁接触平面平行的第二充磁接触平面，在每个侧向面充磁头的内端分别设有竖直设置的第三充磁接触平面。

4.根据权利要求3所述的用于三维加速度计磁悬浮体的制备方法，其特征在于，充磁接触平面的面积与六面磁悬浮体的各个面的面积和形状相同。

5.根据权利要求3所述的用于三维加速度计磁悬浮体的制备方法，其特征在于，所述的下充磁头结构、上充磁头结构和侧向面充磁头的结构相同，包括锥形段和与锥形段大头端连接的平直段，在平直段和/或锥形段外侧分别套设有通电线圈。

6.根据权利要求3所述的用于三维加速度计磁悬浮体的制备方法，其特征在于，所述的下充磁头固定在机架上；或者在机架上设有驱动所述的下充磁头在竖直方向升降的第一升降驱动机构；

第一升降驱动机构包括气缸、油缸和直线电机中的任意一种；

在下充磁头和机架之间设有第一竖直导向结构；

所述的机架上设有驱动所述的上充磁头在竖直方向升降的第二升降驱动机构；

第二升降驱动机构包括气缸、油缸和直线电机中的任意一种；

每个侧向面充磁头分别与水平驱动机构连接，且所述的水平驱动机构分别连接在机架上；

水平驱动机构包括气缸、油缸和直线电机中的任意一种。

7.根据权利要求6所述的用于三维加速度计磁悬浮体的制备方法，其特征在于，所述的机架上设有套设在下充磁头外侧的筒状支撑，在筒状支撑的上端连接有四根圆周分布的悬臂梁，在每根悬臂梁的悬空端分别连接有倾斜向内朝上设置的倾斜支撑且所述的倾斜支撑上端汇聚至环形套周向，四个侧向面充磁头一一设置在所述的悬臂梁上，上充磁头设置在环形套内。

8.根据权利要求7所述的用于三维加速度计磁悬浮体的制备方法，其特征在于，在下充磁头的上端套设有固定框，以及位于固定框上方的定位框，在固定框和定位框之间设有轴向弹性结构且定位框套在第一充磁接触平面外围，在机架或固定框上设有驱动所述的定位框在竖直方向升降的升降驱动机构；

定位框的内壁上沿口设有倒角；

升降驱动机构包括若干圆周分布的气缸或者油缸。

9.根据权利要求8所述的用于三维加速度计磁悬浮体的制备方法，其特征在于，所述的固定框外侧设有若干下定位缺口，在定位框的外侧设有若干与所述的下定位缺口一一对应的上定位缺口，在定位框和固定框之间设有导向框，在导向框的周向设有若干与所述的下定位缺口一一对应的导向凸条且所述的导向凸条竖直设置，导向凸条的上端卡于所述的上定位缺口内并与上定位缺口固定连接，导向凸条的下端卡于所述的下定位缺口内并与下定位缺口滑动连接。