[发明专利]一种二氧化硅/二氧化钛双层减反膜及其制备方法

权利要求书

1.一种SiO₂/TiO₂双层减反膜的制备方法，其特征在于，包括以下制备步骤：

(1)用溶胶-凝胶法分别制备SiO₂酸碱溶胶和TiO₂溶胶；

(2)所述的SiO₂酸碱溶胶用无水乙醇稀释，得到稀释后的SiO₂酸碱溶胶；然后将SiO₂粉末加入无水乙醇中，SiO₂粉末的质量为无水乙醇质量的3％-6％；再将含有SiO₂粉末的无水乙醇加入稀释后的SiO₂酸碱溶胶中；得到SiO₂溶胶；

(3)所述的TiO₂溶胶用无水乙醇稀释，得到稀释后的TiO₂溶胶；

(4)按照先SiO₂后TiO₂的顺序，将上述所得的溶胶涂敷在干净的玻璃基片上，干燥制得SiO₂/TiO₂双层减反膜。

2.根据权利要求1所述的一种SiO₂/TiO₂双层减反膜的制备方法，其特征在于，所述的步骤(3)稀释过程中，TiO₂溶胶与无水乙醇的质量比为1:3-5。

3.根据权利要求1所述的一种SiO₂/TiO₂双层减反膜的制备方法，其特征在于，所述的步骤(2)稀释过程中，SiO₂酸碱溶胶与无水乙醇的质量比为1:2-4。

4.根据权利要求1所述的一种SiO₂/TiO₂双层减反膜的制备方法，其特征在于，所述的步骤(1)中，SiO₂酸碱溶胶的制备方法为：先制备SiO₂酸溶胶和SiO₂碱溶胶，然后将SiO₂酸溶胶和SiO₂碱溶胶按照1：2-4的质量比混合得到。

5.根据权利要求4所述的一种SiO₂/TiO₂双层减反膜的制备方法，其特征在于，所述SiO₂酸溶胶的制备方法为：将TEOS：EtOH：H₂O：HCl按照物质的量比为1：16-20：4：0.06-0.09的比例加入容器，搅拌，之后密封，在阴凉干燥处陈化得到SiO₂酸溶胶。

6.根据权利要求4所述的一种SiO₂/TiO₂双层减反膜的制备方法，其特征在于，所述的SiO₂碱溶胶的制备方法为：将TEOS：EtOH：H₂O：NH₄OH按照物质的量比为1：35-45：2：0.5-0.9的比例加入容器，搅拌，之后密封，在阴凉干燥处陈化得到。

7.根据权利要求1所述的一种SiO₂/TiO₂双层减反膜的制备方法，其特征在于，所述的步骤(1)中，TiO₂溶胶的制备方法为：在室温下，以TBOT为溶胶前躯体，加入乙醇，搅拌并缓慢滴入二乙醇胺，密封好容器，磁力搅拌，陈化，制得TiO₂溶胶。