[发明专利]一种锡镍焊料IMC层金相腐蚀剂及其金相组织显示方法在审

专利信息
申请号: 201910343621.2 申请日: 2019-04-26
公开(公告)号: CN109916905A 公开(公告)日: 2019-06-21
发明(设计)人: 郑明辉;张健健;郭玲;杨思 申请(专利权)人: 紫光宏茂微电子(上海)有限公司
主分类号: G01N21/84 分类号: G01N21/84;G01N1/28;G01N1/32;G01N1/34
代理公司: 上海市嘉华律师事务所 31285 代理人: 黄琮;傅云
地址: 201700 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 金相腐蚀剂 焊料 金相组织显示 锡镍 质量百分比 烘干 冲洗 形貌 腐蚀 机械抛光 机械研磨 显微设备 显微组织 研磨 抛光 乙醇 盐酸 配制 清晰 展示
【权利要求书】:

1.一种锡镍焊料IMC层金相腐蚀剂,其特征在于,所述金相腐蚀剂由质量百分比为36%~38%的盐酸和质量百分比大于95%的乙醇按照体积比例为1:9配制而成。

2.一种锡镍焊料IMC层金相组织显示方法,其特征在于,包括以下步骤:

对试样进行机械研磨;

对已研磨的试样进行机械抛光;

利用权利要求1中所述的金相腐蚀剂对已抛光的试样进行金相腐蚀;

将已金相腐蚀的试样进行冲洗;

对冲洗干净的试样进行烘干;

利用显微设备显示已烘干的试样的IMC金相显微组织界面。

3.根据权利要求2所述的金相组织显示方法,其特征在于,在对已抛光的试样进行金相腐蚀的步骤中,具体包括:

将试样浸入所述金相腐蚀剂中腐蚀45s~60s。

4.根据权利要求2所述的金相组织显示方法,其特征在于,在将已金相腐蚀的试样进行冲洗的步骤中,具体包括:

对试样用流动水冲洗5s~10s。

5.根据权利要求2所述的金相组织显示方法,其特征在于,在对冲洗干净的试样进行烘干的步骤中,具体包括:

将试样在烘烤温度为50℃的条件下,烘烤3min~5min。

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