[发明专利]一种磁传感装置

权利要求书

1.一种磁传感装置，其特征在于，包括谐振模块（101）、伸缩模块（102）和测频模块（103）；

所述谐振模块（101）与所述伸缩模块（102）通过耦合的方式连接，所述测频模块（103）通过电极与所述谐振模块（101）相连；所述谐振模块（101）与所述伸缩模块（102）耦合的方式包括镀膜、涂覆、粘贴、焊接或者化学合成；

所述谐振模块（101）包括一个单独的谐振器，所述谐振器为单梁结构，通过接收所述测频模块（103）的电压驱动信号产生谐振振动；所述伸缩模块（102）采用磁致伸缩材料，通过接受外部磁场的变化，将磁致伸缩效应产生的应力和弹性模量的变化反馈给所述谐振模块（101），伸缩模块（102）与谐振模块（101）一起振动，在谐振模块（101）上产生拉应力或压应力，从而改变谐振模块（101）的谐振频率；所述测频模块（103）用于驱动所述谐振模块（101）的谐振振动，并通过测量所述谐振模块（101）工作状态的变化，获取外部磁场信号。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述测频模块（103）通过电极与所述谐振模块（101）相连的方式包括：引线或者倒装锡球封装。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述外部磁场的变化包括磁场幅度的变化和磁场频率的变化。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述测频模块（103）用于驱动所述谐振模块（101）的谐振振动的方式包括压电激励、电场激励、电磁激励、热激励、激光激励。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述谐振模块（101）的工作状态包括：谐振器的谐振频率。

6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述测频模块（103）测量所述谐振模块（101）工作状态的变化，采用的方式包括：扫频模式和谐振模式。

7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述扫频模式为所述测频模块（103）跟踪和测量所述谐振模块（101）的谐振振幅最高状态的变化，用于测量所述谐振模块（101）谐振频率的变化，获取外部待测磁场信号的幅度大小和频率。

8.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述谐振模式为所述测频模块（103）和所述谐振模块（101）形成振荡电路，通过跟踪和测量所述谐振模块（101）在振荡电路下的振荡频率变化，获取外部待测磁场信号的幅度大小和频率。