[发明专利]一种自动喷嘴清洗及检查管理系统

说明书

本发明涉及一种自动喷嘴清洗及检查管理系统，包括：设置待清洗喷嘴的喷嘴板；具有清洗所述待清洗喷嘴的清洗部的清洗室；具有干燥所述待清洗喷嘴的干燥部的干燥室；具有检查所述待清洗喷嘴的清洗状态的检查部的检查室；以及用于输送所述喷嘴板的输送部，所述清洗室、所述干燥室和所述检查室依次排列成一行。

技术领域

本发明涉及一种自动喷嘴清洗及检查管理系统。

背景技术

需要精确工艺的半导体或电子、电装等工艺，通常利用通过喷嘴的真空吸附方法来输送半导体芯片。然而，由于反复使用喷嘴，在其真空吸附喷嘴内部残存灰尘等异物，从而导致半导体芯片的真空吸附变得不稳定，由此可能带来需要精确工艺的半导体、手机、电装、电子等工艺的缺陷。因此，用于上述工艺的喷嘴需要始终保持清洁状态，目前通过超声波清洗方法和清洗液喷射方法等方法清洗喷嘴。

但是，为了在清洗后重新使用喷嘴，需要将喷嘴内部完全干燥。过去，操作人员通过手工作业方式对喷嘴进行干燥或单独输送到干燥室内部进行干燥，还要对每个喷嘴的清洗及干燥状态进行确认，因此存在诸多不便。尤其是，对喷嘴的内外管的检查，仍旧需要作业人员通过手动作业来逐一进行确认，因此导致了生产效率降低以及费用增加的问题。

也就是说，在之前由于喷嘴的清洗、干燥及清洗状态的确认(检查)等各个作业是按照各个工艺用手动进行的，因此最多能够清洗40多个喷嘴，故很难进行大量的喷嘴清洗作业，导致操作人员的喷嘴清洗效率大幅下降。而且由于每个工艺都需要通过手动作业来完成，因此很难对整个工艺进行管控。

因此，就提出了自动喷嘴清洗及检查管理系统的必要性，也就是说，将喷嘴清洗、干燥、内外管检查和条形码管理等所有工艺集成一体化，且通过采用升降机方式等可连续输送大量的喷嘴，从喷嘴的输入到检查的整个工艺可实现自动化和智能化，从而在每个工艺环节上无需操作人员进行直接确认。

[现有技术文献]

[专利文献]

韩国专利第10-1647794号(2016年8月11日授权公告)

发明内容

[解决的技术问题]

本发明的目的是提供一种自动喷嘴清洗及检查管理系统，将喷嘴的内径孔清洗工艺、干燥工艺和检查工艺集成一体化，以提高喷嘴清洗的工作效率。

另外，本发明的目的是提供一种自动喷嘴清洗及检查管理系统，通过自动化来完成喷嘴板在喷嘴的清洗工艺、干燥工艺和检查工艺等各工艺之间的输送，从而提高工作效率。

另外，本发明的目的是提供一种自动喷嘴清洗及检查管理系统，其加大了喷嘴内径孔的清洗力度，同时保持清洗质量，从而可以提高质量可靠性。

[技术方案]

根据本发明的一个实施例，可提供一种自动喷嘴清洗及检查管理系统，包括设置待清洗喷嘴的喷嘴板；清洗室，其包括用于清洗所述待清洗喷嘴的清洗部的清洗室；干燥室，其包括用于干燥所述待清洗喷嘴的干燥部的干燥室；检查室，其包括用于检查所述待清洗喷嘴的清洗状态的检查部的检查室；以及用于输送所述喷嘴板的输送部；所述清洗室、所述干燥室和所述检查室依次排列成一行。

在一个实施方式中，还可以包括，多个用于分隔所述清洗室、所述干燥室和所述检查室的分隔部。

在一个实施方式中，所述多个分隔部可分别包括，分隔板；输送口，其在所述分隔板上面贯通形成，用于输送所述喷嘴板；以及开闭部，用于打开或关闭所述输送口。

在一个实施方式中，在所述清洗室、所述干燥室和所述检查室中可分别形成引导件框架，其构造为沿着所述喷嘴板的输送方向具有一定长度，用于支撑和引导所述喷嘴板。