[发明专利]一种电镀液比重调整盐添加方法

说明书

本发明公开了一种电镀液比重调整盐添加方法，包括以下步骤：S1：S11：取PG‑GOLD 2.5X浓缩液若干备用；S12：在需要维护的电镀液中添加金盐、辅助盐、添加剂及PH调整添加剂之后先确认液位恢复至设定液位再进行量测并依据量测值进行调整；S2：量测之后根据量测结果计算出PG‑GOLD 2.5X浓缩液的需要添加量，然后将PG‑GOLD 2.5X浓缩液分批次添加到需要维护的电镀液中，避免一次添加到位；S3：S31：在添加PG‑GOLD 2.5X浓缩液添加到需要维护的电镀液之后，待液位恢复至设定液位后再次进行量测；涉及电镀液技术领域。该电镀液比重调整盐添加方法，达到了电镀液比重调整能够达到预估值与实际值相对准确的目的，避免单次添加导致的结构的不确定性，避免到时电镀液的比重过高和过低。

技术领域

本发明涉及电镀液技术领域，具体为一种电镀液比重调整盐添加方法。

背景技术

电镀液是指可以扩大金属的阴极电流密度范围、改善镀层的外观、增加溶液抗氧化的稳定性等特点的液体，电镀液种类数不胜数，曾经在制造实验中应用过的种类就有十余之多。目前，在生产中常用的镀液有四种:氰化镀锌、锌酸盐镀锌、氯化物镀锌和硫酸盐镀锌。根据主盐和其他成分的不同，而演化出众多镀液来只不过是大同小异而已。

目前电镀在晶圆生产过程中，电镀液的主剂会消耗，电镀液在维护时，当电镀液的比重低于中心值超过0.5时，通过计算将比重添加到中心值偏上0.5所需比重调整盐量，但是在加入计算量的比重调整盐量后，实际比重与预估值存在差异。

发明内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本发明提供了一种电镀液比重调整盐添加方法，解决了加入计算量的比重调整盐量后，实际比重与预估值存在差异的问题。

(二)技术方案

为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种电镀液比重调整盐添加方法，包括以下步骤：

S1：S11：取PG-GOLD 2.5X浓缩液若干备用；S12：在需要维护的电镀液中添加金盐、辅助盐、添加剂及PH调整添加剂之后先确认液位恢复至设定液位再进行量测并依据量测值进行调整；

S2：量测之后根据量测结果计算出PG-GOLD 2.5X浓缩液的需要添加量，然后将PG-GOLD 2.5X浓缩液分批次添加到需要维护的电镀液中，避免一次添加到位；

S3：S31：在添加PG-GOLD 2.5X浓缩液添加到需要维护的电镀液之后，待液位恢复至设定液位后再次进行量测；S32：量测时如遇有金盐、辅助盐、添加剂及PH调整添加剂，应按在金盐、辅助盐、添加剂及PH调整添加剂后并在确认液位恢复至设定液位后再进行量测之方式进行；

S4：量测后需再按前述方法进行再次计算PG-GOLD 2.5X浓缩液添加量，并按前述添加原则进行逐次添加；

S5：在每次添加后之量测，若需要维护的电镀液比重恢复至规格内，还有剩余前述计算添加之PG-GOLD 2.5X浓缩液时，剩余未添加PG-GOLD 2.5X浓缩液之量不再添加。

进一步地，所述PG-GOLD 2.5X浓缩液每调高1L的电镀液的1波美度需要添加的PG-GOLD 2.5X浓缩液为40ml。

进一步地，所述PG-GOLD 2.5X浓缩液分批添加时每次添加之添加量以槽体体积的0.5％为上限。

进一步地，所述PG-GOLD 2.5X浓缩液分批添加到需要维护的电镀液中后液位主要的检测依靠观察光学传感器并且通过检测U型管的传感器来确定液位。

进一步地，所述PG-GOLD 2.5X浓缩液分批添加时，每次添加后均要进行量测。