[发明专利]改善投影光路成像的方法及设备

说明书

本发明公开一种改善投影光路成像的方法及设备，投影光路中具有用于成像的投影光束，投影光束的传播方向上设置有整形组件，整形组件用于减小投影光束的直径尺寸，其中改善投影光路成像的方法包括：沿x方向调整整形组件的位置；获取投影光束透射整形组件的第一光能量值；确定第一光能量值的第一峰值对应整形组件的调整位置；沿x方向调整整形组件至第一峰值对应整形组件的调整位置；沿y方向调整整形组件的位置；获取投影光束透射整形组件的第二光能量值；确定第二光能量值的第二峰值对应整形组件的调整位置；沿y方向调整整形组件至第二峰值对应整形组件的调整位置。本发明技术方案能够有效提高投影光路中成像的图像清晰度。

技术领域

本发明涉及投影成像技术领域，特别涉及一种改善投影光路成像的方法及设备。

背景技术

在目前投影成像的光路中，一般设置有组合棱镜或者减弱散斑的装置，这些组合棱镜或者减弱散斑的装置使成像光束的直径变大，由此成像边缘模糊，造成投影成像的图像清晰度变差。

发明内容

本发明的主要目的是提出一种改善投影光路成像的方法及设备，旨在提高投影光路中成像的图像清晰度。

为实现上述目的，本发明提出的一种改善投影光路成像的方法，所述投影光路中具有用于成像的投影光束，所述投影光束的传播方向上设置有整形组件，所述整形组件用于减小所述投影光束的直径尺寸，所述改善投影光路成像的方法包括：

沿x方向调整所述整形组件的位置；

获取所述投影光束透射所述整形组件的第一光能量值；

确定所述第一光能量值的第一峰值对应所述整形组件的调整位置；

沿x方向调整所述整形组件至所述第一峰值对应所述整形组件的调整位置；

沿y方向调整所述整形组件的位置；

获取所述投影光束透射所述整形组件的第二光能量值；

确定所述第二光能量值的第二峰值对应所述整形组件的调整位置；

沿y方向调整所述整形组件至所述第二峰值对应所述整形组件的调整位置；

定义所述投影光束的出射方向为z方向，垂直于z方向为x方向，y方向同时垂直于x方向和z方向。

可选地，所述沿x方向调整所述整形组件的位置的步骤包括：

沿x方向固定步长移动所述整形组件。

可选地，所述获取所述投影光束透射所述整形组件的第一光能量值的步骤之后包括：

记录并保存所述第一光能量值，以及所述第一光能量值对应的所述整形组件的移动位置。

可选地，所述第一峰值对应所述整形组件的调整位置为第一位置，所述确定所述第一光能量值的第一峰值对应所述整形组件的调整位置的步骤包括：

依据所述记录并保存所述第一光能量值，以及所述第一光能量值对应的所述整形组件的移动位置的数据建立能量位置关系图；

依据所述能量位置关系图计算得到第一峰值对应的第一位置。

可选地，所述第一峰值对应所述整形组件的调整位置为第一位置，所述确定所述第一光能量值的第一峰值对应所述整形组件的调整位置的步骤包括：

控制所述整形组件沿x方向移动，所述第一光能量值降低10％，则所述第一光能量值恢复降低10％数值对应的位置为所述第一峰值对应的第一位置。

可选地，所述沿y方向调整所述整形组件的位置的步骤包括：

沿y方向固定步长移动所述整形组件。