[发明专利]改善投影光路成像的方法及设备

权利要求书

1.一种改善投影光路成像的方法，其特征在于，所述投影光路中具有用于成像的投影光束，所述投影光束的传播方向上设置有整形组件，所述整形组件用于减小所述投影光束的直径尺寸，所述改善投影光路成像的方法包括：

沿x方向调整所述整形组件的位置；

获取所述投影光束透射所述整形组件的第一光能量值；

确定所述第一光能量值的第一峰值对应所述整形组件的调整位置；

沿x方向调整所述整形组件至所述第一峰值对应所述整形组件的调整位置；

沿y方向调整所述整形组件的位置；

获取所述投影光束透射所述整形组件的第二光能量值；

确定所述第二光能量值的第二峰值对应所述整形组件的调整位置；

沿y方向调整所述整形组件至所述第二峰值对应所述整形组件的调整位置；

定义所述投影光束的出射方向为z方向，垂直于z方向为x方向，y方向同时垂直于x方向和z方向。

2.如权利要求1所述的改善投影光路成像的方法，其特征在于，所述沿x方向调整所述整形组件的位置的步骤包括：

沿x方向固定步长移动所述整形组件。

3.如权利要求2所述的改善投影光路成像的方法，其特征在于，所述获取所述投影光束透射所述整形组件的第一光能量值的步骤之后包括：

记录并保存所述第一光能量值，以及所述第一光能量值对应的所述整形组件的移动位置。

4.如权利要求3所述的改善投影光路成像的方法，其特征在于，所述第一峰值对应所述整形组件的调整位置为第一位置，所述确定所述第一光能量值的第一峰值对应所述整形组件的调整位置的步骤包括：

依据所述记录并保存所述第一光能量值，以及所述第一光能量值对应的所述整形组件的移动位置的数据建立能量位置关系图；

依据所述能量位置关系图计算得到第一峰值对应的第一位置。

5.如权利要求2所述的改善投影光路成像的方法，其特征在于，所述第一峰值对应所述整形组件的调整位置为第一位置，所述确定所述第一光能量值的第一峰值对应所述整形组件的调整位置的步骤包括：

控制所述整形组件沿x方向移动，所述第一光能量值降低10％，则所述第一光能量值恢复降低10％数值对应的位置为所述第一峰值对应的第一位置。

6.如权利要求1所述的改善投影光路成像的方法，其特征在于，所述沿y方向调整所述整形组件的位置的步骤包括：

沿y方向固定步长移动所述整形组件。

7.如权利要求6所述的改善投影光路成像的方法，其特征在于，所述第二峰值对应所述整形组件的调整位置为第二位置，所述确定所述第二光能量值的第二峰值对应所述整形组件的调整位置的步骤包括：

依据所述第二光能量值，以及所述第二光能量值对应的所述整形组件的移动位置的数据建立能量位置关系图；

依据所述能量位置关系图计算得到第二峰值对应的第二位置。

8.如权利要求1所述的改善投影光路成像的方法，其特征在于，所述投影光路中包括红色激光器、绿色激光器和蓝色激光器，所述投影光路中还包括合束组件，所述合束组件用于将所述红色激光器、所述绿色激光器以及所述蓝色激光器发射的激光束合成所述投影光束，所述沿x方向调整所述整形组件位置的步骤之前包括：

开启所述红色激光器、所述绿色激光器或所述蓝色激光器其中至少一种激光器。

9.如权利要求1所述的改善投影光路成像的方法，其特征在于，所述整形组件为孔径光阑。

10.一种改善投影光路成像的设备，其特征在于，所述投影光路中具有用于成像的投影光束，所述投影光束的传播方向上设置有整形组件，所述整形组件用于透射所述投影光束，所述改善投影光路成像的设备包括：

移动模块，用于沿x方向和/或y方向调整所述整形组件的位置；

获取模块，用于获取所述投影光束透射所述整形组件的第一光能量值和/或第二光能量值；

计算模块，用于确定所述第一光能量值的第一峰值对应所述整形组件的调整位置，和/或，确定所述第二光能量值的第二峰值对应所述整形组件的调整位置。