[发明专利]四自由度压电载物台及其激励方法有效
申请号: | 201910280899.X | 申请日: | 2019-04-09 |
公开(公告)号: | CN109889087B | 公开(公告)日: | 2020-01-24 |
发明(设计)人: | 刘英想;于洪鹏;刘军考;田鑫琦 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨工业大学 |
主分类号: | H02N2/00 | 分类号: | H02N2/00 |
代理公司: | 23211 哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司 | 代理人: | 刘景祥 |
地址: | 150001 黑龙*** | 国省代码: | 黑龙;23 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 载物台 压电 超精密 驱动单元 四自由度 驱动运动平台 三个正交方向 负载能力 固定夹块 横向导轨 可扩展性 驱动元件 伸缩变形 弯曲变形 应用需求 运动平台 纵向导轨 大尺度 驱动足 紧凑 | ||
1.一种四自由度压电载物台,其特征是:所述载物台包括运动平台(1)、n个驱动单元(2)、固定夹块(3)、纵向导轨(4)、横向导轨(5)和基座(6),所述驱动单元(2)与基座(3)固定连接,n为大于1的整数,增大n用以实现负载能力的倍增,所述n个驱动单元(2)与固定夹块(3)之间固定连接,所述n个驱动单元(2)固定于固定夹块(3)的平面上,所述驱动单元(2)包括驱动足(2-1)、双向层叠式弯曲型压电驱动器(2-2)、绝缘块(2-3)和层叠式直线型压电驱动(2-4),所述驱动足(2-1)、双向层叠式弯曲型压电驱动器(2-2)、绝缘块(2-3)和层叠式直线型压电驱动(2-4)之间固定连接,所述n个驱动单元(2)中至少有两个驱动单元(2)处于正交的空间位置,所述基座(6)保持固定,所述运动平台(1)输出四自由度运动。
2.根据权利要求1所述的一种四自由度压电载物台,其特征是:所述驱动单元(2)为能量转换元件,通过驱动单元(2)实现输入电能向输出机械能的转换。
3.根据权利要求1所述的一种四自由度压电载物台,其特征是:所述双向层叠式弯曲型压电驱动器(2-2)由多片压电陶瓷固定连接而成,每片压电陶瓷包含四个极化分区,在对其施加激励电压信号后将带动驱动足(2-1)沿两个正交方向做摆动运动;所述层叠式直线型压电驱动器(2-4)由多片压电陶瓷固定连接而成,每片压电陶瓷包含一个极化分区,在对其施加激励电压信号后将带动驱动足(2-1)沿自身轴线方向做直线运动。
4.根据权利要求1所述的一种四自由度压电载物台,其特征是:所述固定夹块(3)上设有中心轴或者中心孔,并与所述运动平台(1)上的中心孔或者中心轴配合,所述n个驱动单元(2)的驱动足(2-1)中,至少有一个驱动足(2-1)通过固定夹块(3)压紧在基座(6)上,且至少有一个驱动足(2-1)通过固定夹块(3)压紧在运动平台(1)上。
5.一种如权利要求1所述的四自由度压电载物台的激励方法,其特征是:包括以下步骤:
步骤一:运动平台(1)沿基座(6)平面内水平方向做双向直线运动;
步骤二:运动平台(1)沿基座(6)平面内纵深方向做双向直线运动;
步骤三:运动平台(1)沿着与基座(6)平面垂直的竖直方向做双向直线运动;
步骤四:运动平台(1)绕着与基座(6)平面垂直的竖直方向做双向旋转运动。
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