[发明专利]一种蓝宝石单晶炉上的热场结构在审
申请号: | 201910241574.0 | 申请日: | 2019-03-28 |
公开(公告)号: | CN109750349A | 公开(公告)日: | 2019-05-14 |
发明(设计)人: | 赵万方;陈占阳;张慧霞;陈兴友;朱宇;张军 | 申请(专利权)人: | 西安格美金属材料有限公司 |
主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00;C30B29/20 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 710089 陕西省西安市阎良*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 钨棒 加热片 铜环 蓝宝石单晶 插入安装 热场结构 通孔 蓝宝石 高温区域 工作效率 滑动卡块 结构科学 实际需求 温度梯度 相邻位置 连接孔 真空炉 疏密 底端 滑槽 卡槽 卡块 可控 套接 穿过 移动 | ||
1.一种蓝宝石单晶炉上的热场结构,其特征在于:包括第一铜环(1),所述第一铜环(1)一侧均匀插入安装有第一钨棒(2),所述第一铜环(1)一侧设有第二铜环(5),所述第二铜环(5)一侧均匀贯通开设有通孔(6),所述第一钨棒(2)一端穿过通孔(6)与第二铜环(5)相连,所述第二铜环(5)一侧与通孔(6)相邻位置处插入安装有第二钨棒(7),所述第一钨棒(2)和第二钨棒(7)顶端均连接有第一连接头(3),所述第一钨棒(2)和第二钨棒(7)底端均连接有第二连接头(4),所述第一钨棒(2)和第二钨棒(7)外侧套接有加热片(8),所述加热片(8)一侧均匀贯通开设连接孔(9),所述第一钨棒(2)和第二钨棒(7)穿过连接孔(9)与加热片(8)相连。
2.根据权利要求1所述的一种蓝宝石单晶炉上的热场结构,其特征在于:所述第一连接头(3)形状为圆台形状,所述第二连接头(4)形状为圆柱形状,且第二连接头(4)的直径大于第一钨棒(2)和第二钨棒(7)的直径。
3.根据权利要求1所述的一种蓝宝石单晶炉上的热场结构,其特征在于:所述连接孔(9)的内径大于第一钨棒(2)和第二钨棒(7)的外径,所述加热片(8)可通过连接孔(9)在第一钨棒(2)和第二钨棒(7)外侧上下滑动。
4.根据权利要求1所述的一种蓝宝石单晶炉上的热场结构,其特征在于:所述加热片(8)一侧安装有固定组件(10);
所述固定组件(10)包括第一固定半环(1001)、第二固定半环(1002)、转轴(1003)、凸块(1004)和固定螺杆(1005);
所述加热片(8)一侧与连接孔(9)对应位置处安装有第一固定半环(1001),所述第一固定半环(1001)一侧设置有第二固定半环(1002),所述第一固定半环(1001)和第二固定半环(1002)一端通过转轴(1003)相连,并通过转轴(1003)与加热片(8)相连,所述第一固定半环(1001)和第二固定半环(1002)另一端均安装有凸块(1004),两个所述凸块(1004)之间通过螺纹连接有固定螺杆(1005)。
5.根据权利要求4所述的一种蓝宝石单晶炉上的热场结构,其特征在于:所述固定组件(10)的数量为三个,所述第一固定半环(1001)和第二固定半环(1002)合并时的内径小于第一钨棒(2)和第二钨棒(7)的直径。
6.根据权利要求1所述的一种蓝宝石单晶炉上的热场结构,其特征在于:所述第一钨棒(2)和第二钨棒(7)底端外侧安装有收纳限位组件(11);
所述收纳限位组件(11)包括限位底环(1101)、凹槽(1102)、遮挡环(1103)、防滑纹(1104)和限位孔(1105);
所述第一钨棒(2)和第二钨棒(7)底端外侧套接有限位底环(1101),所述限位底环(1101)顶端贯穿开设有限位孔(1105),所述第一钨棒(2)和第二钨棒(7)穿过限位孔(1105)与限位底环(1101)相连,所述限位底环(1101)顶端一侧开设有凹槽(1102),所述凹槽(1102)内部安装有遮挡环(1103),所述遮挡环(1103)边部开设有防滑纹(1104)。
7.根据权利要求6所述的一种蓝宝石单晶炉上的热场结构,其特征在于:所述遮挡环(1103)的内径大于加热片(8)的外径,所述遮挡环(1103)的宽度等于凹槽(1102)的深度。
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