[发明专利]促动器和光扫描装置

说明书

本发明提供促动器和光扫描装置，目的在于：能够抑制在锯齿波的归零区间单独产生的振铃自身，与归零部分的波形以外的波形无关地抑制振铃。本发明的促动器具备支承驱动对象物的梁以及被输入驱动信号的驱动源，上述驱动信号包含锯齿波形状的驱动波形，上述锯齿波形状的驱动波形的下降沿部分的微分波形具有将振铃波长乘以除了整数以外的预定倍数所得的波长的半正弦波的形状，通过上述驱动源的驱动，在围绕预定的轴旋转的方向对上述驱动对象物进行摇动驱动。

技术领域

本发明涉及促动器和光扫描装置。

背景技术

以前，已知一种光扫描装置，其使用将在压电薄膜的上表面形成了上部电极、在下表面形成了下部电极的压电元件作为驱动源的促动器，使反射入射光的反射镜部围绕旋转轴旋转，来扫描反射光。在该促动器中，为了向压电薄膜施加电压，而形成有与上部电极连接的上部布线、与下部电极连接的下部布线(例如参照专利文献1和专利文献2)。

在上述光扫描装置中，对驱动源使用锯齿状波形的电压，但在驱动时，有时产生因反射镜部的共振振动造成的振铃(ringing)。振铃的产生会造成通过光扫描装置的扫描而形成的图像的质量变差。

在专利文献3中，检测输入锯齿波时的振动角度，并且进行对驱动波形施加频率滤波的反馈控制以除去振铃分量。

在专利文献4中，输入对已知的频率分量施加了除去共振频率分量的滤波所得的驱动波形。

但是，如果使用如上述那样对驱动波形整体施加频率滤波的方法，则存在以下的问题，即例如在使用主扫描区间为阶梯状的锯齿波的情况下，阶梯部分变钝，无法得到所需要的线性区间。另外，在施加滤波的方法中，对连续重复的锯齿波有效，但在锯齿波的频率变动的情况、锯齿波和锯齿波之间不定期地产生等待时间的情况等下，无法得到适当的振铃抑制效果。

专利文献1：日本特开2016-1325号公报

专利文献2：专利第5876329号

专利文献3：日本特开2012-55852号公报

专利文献4：日本特开2004-361920号公报

发明内容

本发明就是鉴于上述点而提出的，其目的在于：并不抑制锯齿波整体，而是能够抑制在锯齿波的归零区间单独产生的振铃自身，与归零部分的波形以外的波形无关地抑制振铃。

本发明的一个实施例的促动器具备支承驱动对象物(120)的梁(173X1、173X2、173Y1、173Y2)以及被输入驱动信号的驱动源(171A、171B)，上述驱动信号包含锯齿波形状的驱动波形，上述锯齿波形状的驱动波形的下降沿部分的微分波形具有将振铃波长乘以除了整数以外的预定倍数所得的波长的半正弦波的形状，通过上述驱动源的驱动，在围绕预定的轴(AXV)旋转的方向对上述驱动对象物进行摇动驱动。

此外，为了容易理解而附加了上述括号内的参照符号，其只不过是一个例子，并不限于图示的实施例。

根据所公开的技术，驱动波形的微分波形中的振铃波长的(n+0.5)倍(n为正整数)的波长的半正弦波的形状能够抑制在锯齿波的归零区间单独产生的振铃自身而不是抑制锯齿波整体，与归零部分的波形以外的波形无关地抑制振铃。

附图说明

图1是表示实施方式的光扫描装置的光扫描部的一个例子的上面侧的立体图(A)和下面侧的立体图(B)。

图2是表示实施方式的光扫描装置的光扫描部的一个例子的上面侧的平面图。

图3是表示实施方式的光扫描装置的光扫描部的一个例子的驱动波形的图。

图4是表示实施方式的光扫描装置的光扫描部的一个例子的驱动波形的上升沿部分即主扫描区间的波形的图。