[发明专利]促动器和光扫描装置

权利要求书

1.一种促动器，其特征在于，具备：

支承驱动对象物的梁；以及

被输入驱动信号的驱动源，其中，

上述驱动信号包含锯齿波形状的驱动波形，

上述锯齿波形状的驱动波形的下降沿部分的微分波形具有将振铃波长乘以除了整数以外的预定倍数所得的波长的半正弦波的形状，

通过上述驱动源的驱动，在围绕预定的轴旋转的方向上对上述驱动对象物进行摇动驱动。

2.根据权利要求1所述的促动器，其特征在于，

上述预定倍数的波长是振铃波长的(n+0.5)倍的波长，其中，n为正整数。

3.根据权利要求1或2所述的促动器，其特征在于，

多个上述梁在与上述预定的轴垂直的方向上延伸，

相邻的上述梁的端部之间通过折回部连结，作为整体具有之字形的蛇腹构造。

4.根据权利要求1或2所述的促动器，其特征在于，

上述梁是在表面形成有上述驱动源而对上述驱动对象物进行摇动的驱动梁。

5.根据权利要求1或2所述的促动器，其特征在于，

上述锯齿波形状的驱动波形的下降沿部分的微分波形具有将偶数个上述半正弦波连结起来所得的波形。

6.根据权利要求1或2所述的促动器，其特征在于，

上述锯齿波形状的驱动波形的上升沿部分具有第一阶梯状波形和与上述第一阶梯状波形连续的第二阶梯状波形，

在上述第一阶梯状波形与上述第二阶梯状波形之间，形成有产生与振铃波形成反相位的振动的振铃抑制波形。

7.根据权利要求6所述的促动器，其特征在于，

通过上述第一阶梯状波形产生的振铃和通过上述第二阶梯状波形产生的振铃相互抵消。

8.根据权利要求6所述的促动器，其特征在于，

上述振铃抑制波形是振铃波长的0.5倍。

9.根据权利要求1或2所述的促动器，其特征在于，

上述锯齿波形状的上升沿区间是上述促动器进行的扫描的主扫描区间。

10.根据权利要求9所述的促动器，其特征在于，

上述锯齿波形状的下降沿部分是上述主扫描区间与下一个主扫描区间之间的归零区间。

11.根据权利要求5所述的促动器，其特征在于，

上述锯齿波形状的驱动波形的下降沿部分的微分波形具有将2个波长为上述振铃波长的3.5倍的半正弦波连接起来所得的波形。

12.根据权利要求5所述的促动器，其特征在于，

上述锯齿波形状的驱动波形的下降沿部分的微分波形具有将4个波长为上述振铃波长的1.5倍的半正弦波连接起来所得的波形。

13.一种光扫描装置，其特征在于，具备：

具有光反射面的反射镜；

支承上述反射镜的反射镜支承体；

驱动梁，其具有多个在与预定的轴垂直的方向上延伸的梁，相邻的上述梁的端部之间通过折回部连结，作为整体具有之字形的蛇腹构造，而支承上述反射镜支承体，以及

驱动源，其形成在上述梁的表面，被输入驱动信号，其中，

上述驱动信号包含锯齿波形状的驱动波形，

上述锯齿波形状的驱动波形的下降沿部分的微分波形具有将振铃波长乘以除了整数以外的预定倍数所得的波长的半正弦波的形状，

通过上述驱动源的驱动，在围绕上述预定的轴旋转的方向上对上述反射镜支承体进行摇动驱动。

14.根据权利要求13所述的光扫描装置，其特征在于，

上述预定倍数的波长是振铃波长的(n+0.5)倍的波长，其中，n为正整数。