[发明专利]狭缝光源以及包括该狭缝光源的视觉检查装置

说明书

本发明涉及狭缝光源以及包括该狭缝光源的视觉检查装置，更详细地说涉及生成狭缝形状的光并照射于照射对象的狭缝光源以及包括该狭缝光源的视觉检查装置。本发明公开了一种狭缝光源(20)，其特征在于，包括：生成光的光源部(100)；光学系(200)，按照提前设定的倍率聚光从所述光源部(100)生成的光来形成狭缝光；其中，所述光学系(200)包括：平行光形成透镜部(210)，用于将从所述光源部(100)散发的光转换成平行光；聚光透镜部(220)，聚光通过所述平行光形成透镜部(210)的光。

技术领域

本发明涉及狭缝光源以及包括该狭缝光源的视觉检查装置，更详细地说涉及生成狭缝形状的光并照射于照射对象的狭缝光源以及包括该狭缝光源的视觉检查装置。

背景技术

半导体元件等在工艺中、后执行各种检查，以提高工艺产量等。

然后，在对半导体元件等检查对象的检查中有2D以及3D检查中的至少一种的视觉检查，对被检查对象照射光，获取被光照射的检查对象的图像，分析获取的图像。

在此，用于执行视觉检查的视觉检查装置一般包括：从光源生成固定图案的光照射于检查对象的光源；获取通过光源被光照射的检查对象的图像的图像获取装置(摄像机或者扫描仪)。

然后，对于所述光源，根据检查形态可适应点光源、狭缝光源等。

但是，参照韩国公开专利公报第10-2011-17158号，光源中狭缝光源一般由光源部、远心透镜以及介入于光源部与远心镜头之间的狭缝部件构成。

但是，现有的狭缝光源使用狭缝部件，进而通过狭缝部件阻挡光的一部分出现光损失，因此存在需要使用输出大的光源。

另外，若对现有的光源使用白色光，则存在因色素差无法鲜明地形成狭缝光的边界，以及在缩小狭缝光的宽度上存在局限性的问题。

最后，现有的狭缝光源存在很难根据狭缝光的用途改变狭缝光的光束宽度的问题。

发明内容

(要解决的问题)

本发明的目的在于，认识到上述问题提供如下的狭缝光源以及包括该狭缝光源的视觉检查装置：利用多个圆柱透镜构成倍率光学系，进而不存在光损失，并在在白色光的情况下，也能够无色差地形成照射区域边界清晰的狭缝光。

另外，本发明的目的在于提供如下的狭缝光源以及包括该狭缝光源的视觉检查装置：将调整从光源发出的光的光束宽度的光束宽度调整透镜部可移动地设置在光路上，进而能够更加容易调整用于形成狭缝光的倍率光学系的倍率。

(解决问题的手段)

为了达到如上所述的目的，本发明公开了一种狭缝光源20，包括：生成光的光源部100；光学系200，按照提前设定的倍率聚光从所述光源部100生成的光来形成狭缝光；其中，所述光学系200包括：平行光形成透镜部210，用于将从所述光源部100散发的光转换成平行光；聚光透镜部220，聚光通过所述平行光形成透镜部210的光。

所述光源部100可包括多个LED光源110，所述多个LED光源110排成一列以提前设定的发散角生成白色光。

所述光学系200还可包括光束宽度调整透镜部230，所述光束宽度调整透镜部230设置在所述平行光形成透镜部210与所述聚光透镜部220之间的光路上以调整所述平行光的光束宽度。

所述平行光形成透镜部210可包括一个以上的圆柱透镜212，所述一个以上的圆柱透镜212具有与通过光轴的光的照射方向垂直的长度。

所述光束宽度调整透镜部230可包括一个以上的圆柱透镜232，所述一个以上的圆柱透镜232具有与通过光轴的光的照射方向垂直的长度。

所述光束宽度调整透镜部230可包括多个圆柱透镜232。