[发明专利]嵌入式炉腔烧结炉

说明书

本发明属于太阳能电池制造领域，尤其涉及一种嵌入式炉腔烧结炉，包括上炉腔和下炉腔，所述上炉腔包括上炉腔壁、炉膛、位于所述炉膛内的多个温区以及对应每个温区的温控系统，所述温区内均设有加热管，所述上炉腔壁下端设有凸台；所述下炉腔设置在所述上炉腔下端，所述下炉腔包括下炉腔壁，所述下炉腔壁上端设有与所述凸台相适配的凹槽，凹槽结构设计可以减少腔室内热量的损失，本发明烧结炉能够更加准确的控制温区的温度，保持烧结炉内温度恒定，节省电力能源，实现温度均衡，使硅片生产更加均匀，成品率高，具有广阔的应用前景。

技术领域

本发明属于太阳能电池制造领域，尤其涉及一种嵌入式炉腔烧结炉。

背景技术

随着太阳能电池的迅猛发展，越来越多的太阳能电池进入民用领域。太阳能电池主要由硅片构成，在高纯度的硅片上形成半导体P-N结，其加工过程主要包括清洗、烘干、扩散、刻蚀、喷涂、印刷和烧结等多道工序。目前使用的太阳能硅片烧结炉，一般都设有多个温区，每个温区设有加热管和温度控制装置，用来维持各个温区的温度恒定，但是由于炉腔体的结构性问题，炉腔温度很难保温。作为电池片加工的末尾工序，烧结的成功与否，将直接关系到电池片能否走出产线，而受制于工艺难题，高温温度的保持和温度的均匀化都受到许多因素的干扰，热损失较大，能源消耗严重，造成了很大的电能浪费。因而，为使烧结炉能够得到高效的使用，烧结炉的温度问题亟待解决。对此，我们下了决心技改设备。

发明内容

本发明的目的是解决上述现有技术的不足，提供一种能够保持烧结炉内温度恒定、节省电力能源、实现温度均衡以及硅片成品率高的嵌入式炉腔烧结炉。

本发明解决上述现有技术的不足所采用的技术方案是：

一种嵌入式炉腔烧结炉，其特征在于，包括上炉腔和下炉腔，其中：

所述上炉腔包括上炉腔壁、炉膛、位于所述炉膛内的多个温区以及对应每个温区的温控系统，所述温区内均设有加热管，所述上炉腔壁下端设有凸台；

所述下炉腔设置在所述上炉腔下端，所述下炉腔包括下炉腔壁，所述下炉腔壁上端设有与所述凸台相适配的凹槽。

优选的，本发明中所述温控系统包括温度传感器、分别与所述温度传感器和所述加热管相连的温度调节器。

优选的，本发明中所述温度传感器设有多个，所述多个温度传感器分别位于所述多个温区的不同位置。

优选的，本发明中所述温度传感器位于所述温区的不同高度。

优选的，本发明中所述多个温度传感器通过平均值计算器与所述温度调节器相连。

优选的，本发明中所述温度调节器包括依次相连的PID调节单元、温度控制单元和调压单元。

优选的，本发明中所述下炉腔凹槽内设有保温棉。

优选的，本发明中所述加热管为石英加热管。

优选的，本发明中所述凹槽位于所述下炉腔壁的一侧设有隔热板，所述凹槽远离所述下炉腔壁的一侧设有隔热反射板，可以让整个腔室始终保持一个稳定的温度，有利于硅片加工工艺的稳步进行。

优选的，本发明中所述隔热反射板的材质为铝。

本发明的有益效果是，由于本发明嵌入式炉腔烧结炉包括上炉腔和下炉腔，所述上炉腔包括上炉腔壁、炉膛、位于所述炉膛内的多个温区以及对应每个温区的温控系统，所述温区内均设有加热管，所述上炉腔壁下端设有凸台；所述下炉腔设置在所述上炉腔下端，所述下炉腔包括下炉腔壁，所述下炉腔壁上端设有与所述凸台相适配的凹槽，凹槽结构设计可以减少腔室内热量的损失，本发明烧结炉能够更加准确的控制温区的温度，保持烧结炉内温度恒定，节省电力能源，实现温度均衡，使硅片生产更加均匀，成品率高，应用前景广阔。

附图说明