[发明专利]大行程超精密复合静压导轨系统

说明书

本发明提供了一种大行程超精密复合静压导轨系统，包括：机架；床身，其设置于所述机架上；静压导向导轨模组，其设置于所述床身上；第一静压承载导轨模组，其设置于该床身上并与该静压导向导轨模组相对设置；Z轴连接板，其设置于该静压导向导轨模组以及该第一辅静压承载导轨模组上，所述Z轴连接板用于连接机床的Z轴；W轴连接板，其设置于该静压导向导轨模组上，所述W轴连接板用于连接机床的W轴。

技术领域

本发明涉及超精密机床领域，具体涉及一种大行程超精密复合静压导轨系统。

背景技术

大行程的超精密机床复合静压导轨系统采用的是主、辅导轨结合的导向系统，即基于多导轨进行滑动，针对的是超精密装备长导轨、大负载、高精度运动情况下，单导轨加工、安装时精度不易保证的问题。对于超精密机床长导轨精密运动，导轨的直线度一般要求为1um/500mm，导轨最长可达6m，如果长期在大负载工况下，导轨精度的稳定性很难保证；其次，传统导轨为单导轨闭式结构，抗倾覆能力有限，当导轨受到外界负载扰动时运动精度很难保证；采用单导轨设计时，导轨起承载又起导向作用极易容易疲劳，承载能力与精度均不如多导轨强。

因此，现有技术存在缺陷，急需改进。

发明内容

本发明提供了一种大行程超精密复合静压导轨系统，包括：

机架；

床身，其设置于所述机架上；

静压导向导轨模组，其设置于所述床身上；

第一静压承载导轨模组，其设置于该床身上并与该静压导向导轨模组相对设置；

Z轴连接板，其设置于该静压导向导轨模组以及该第一辅静压承载导轨模组上，所述Z轴连接板用于连接机床的Z轴；

W轴连接板，其设置于该静压导向导轨模组上，所述W轴连接板用于连接机床的W轴。

在本发明所述的大行程超精密复合静压导轨系统中，所述静压导向导轨模组包括封闭式静压导轨以及可滑动地设置于该封闭式静压导轨内的第一静压滑块组件。

在本发明所述的大行程超精密复合静压导轨系统中，所述第一静压滑块组件包括静压滑块本体以及设置于所述静压滑块本体上的节流器；所述节流器包括基座、上盖以及设置于该上盖与该基座之间的弹性薄膜；

该上盖的下表面设置有第二凹槽，该第二凹槽内的底壁上设置有第二环形凸起；该基座的上表面设置有第一凹槽，该第一凹槽内的底壁上设置有节流台以及第一环形凸起，该节流台位于该第一环形凸起的内侧，该第一环形凸起的高度大于该节流台的高度，该节流台上开设有贯穿至该基座的下表面的节流孔；

该基座卡设在该第二凹槽中，该第二环形凸起以及该第一环形凸起相互正对且间隔距离大于该弹性薄膜的厚度，该弹性薄膜的边缘夹持在该第一基座的上表面与该第二凹槽的底壁之间以将该第一凹槽覆盖；

该第二凹槽的内侧壁、该第二环形凸起的外侧壁以及该弹性薄膜围成上调节腔，该第二环形凸起的内侧壁以及该弹性薄膜围成上稳压腔，该第一凹槽的内侧壁、该第一环形凸起的外侧壁以及该弹性薄膜围成下调节腔，该第一环形凸起的内侧壁以及该弹性薄膜围成下稳压腔；

该基座的开设由基座的下表面延伸至该上调节腔的进油通道，该第一环形凸起上开设有将该下调节腔和该下稳压腔连通的第一缺口，该第二环形凸起上开设有将该上调节腔和该上稳压腔连通的第二缺口。

在本发明所述的大行程超精密复合静压导轨系统中，所述基座的上表面开设有与该上调节腔连通的第三缺口；

所述进油通道为延伸至所述第三缺口处的导油槽。

在本发明所述的大行程超精密复合静压导轨系统中，所述第二凹槽的内侧壁面沿着预设圆周延伸，所述基座呈与所述第二凹槽适配的圆柱状。