[发明专利]大行程超精密复合静压导轨系统

权利要求书

1.一种大行程超精密复合静压导轨系统，其特征在于，包括：

机架；

床身，其设置于所述机架上；

静压导向导轨模组，其设置于所述床身上；

第一静压承载导轨模组，其设置于该床身上并与该静压导向导轨模组相对设置；

Z轴连接板，其设置于该静压导向导轨模组以及该第一辅静压承载导轨模组上，所述Z轴连接板用于连接机床的Z轴；

W轴连接板，其设置于该静压导向导轨模组上，所述W轴连接板用于连接机床的W轴。

2.根据权利要求1所述的大行程超精密复合静压导轨系统，其特征在于，所述静压导向导轨模组包括封闭式静压导轨以及可滑动地设置于该封闭式静压导轨内的第一静压滑块组件。

3.根据权利要求2所述的大行程超精密复合静压导轨系统，其特征在于，所述第一静压滑块组件包括静压滑块本体以及设置于所述静压滑块本体上的节流器；所述节流器包括基座、上盖以及设置于该上盖与该基座之间的弹性薄膜；

该上盖的下表面设置有第二凹槽，该第二凹槽内的底壁上设置有第二环形凸起；该基座的上表面设置有第一凹槽，该第一凹槽内的底壁上设置有节流台以及第一环形凸起，该节流台位于该第一环形凸起的内侧，该第一环形凸起的高度大于该节流台的高度，该节流台上开设有贯穿至该基座的下表面的节流孔；

该基座卡设在该第二凹槽中，该第二环形凸起以及该第一环形凸起相互正对且间隔距离大于该弹性薄膜的厚度，该弹性薄膜的边缘夹持在该第一基座的上表面与该第二凹槽的底壁之间以将该第一凹槽覆盖；

该第二凹槽的内侧壁、该第二环形凸起的外侧壁以及该弹性薄膜围成上调节腔，该第二环形凸起的内侧壁以及该弹性薄膜围成上稳压腔，该第一凹槽的内侧壁、该第一环形凸起的外侧壁以及该弹性薄膜围成下调节腔，该第一环形凸起的内侧壁以及该弹性薄膜围成下稳压腔；

该基座的开设由基座的下表面延伸至该上调节腔的进油通道，该第一环形凸起上开设有将该下调节腔和该下稳压腔连通的第一缺口，该第二环形凸起上开设有将该上调节腔和该上稳压腔连通的第二缺口。

4.根据权利要求3所述的大行程超精密复合静压导轨系统，其特征在于，所述基座的上表面开设有与该上调节腔连通的第三缺口；

所述进油通道为延伸至所述第三缺口处的导油槽。

5.根据权利要求4所述的大行程超精密复合静压导轨系统，其特征在于，所述第二凹槽的内侧壁面沿着预设圆周延伸，所述基座呈与所述第二凹槽适配的圆柱状。

6.根据权利要求5所述的大行程超精密复合静压导轨系统，其特征在于，所述基座的上表面沿着该第一凹槽的槽沿设置有内凹的第一环状台阶面；

所述第二凹槽的底壁上设置有与所述第一环状台阶面适配的环状凸起，所述环状凸起将所述弹性薄膜夹持在所述第一环状台阶面处。

7.根据权利要求1所述的大行程超精密复合静压导轨系统，其特征在于，所述第一静压承载导轨模组包括第一开式静压导轨以及可滑动地设置于该第一开式静压导轨内的第二静压滑块组件。

8.根据权利要求1所述的大行程超精密复合静压导轨系统，其特征在于，还包括第二静压承载导轨模组；

所述第二静压承载导轨模组设置于所述床身上且与所述静压导向导轨模组相对设置，所述静压导向导轨模组位于所述第二静压承载导轨模组以及所述第一静压承载导轨模组之间；

所述W轴连接板设置于该静压导向导轨模组以及该第二静压承载导轨模组上。

9.根据权利要求4所述的大行程超精密复合静压导轨系统，其特征在于，所述第二静压承载导轨模组包括第二开式静压导轨以及可滑动地设置于该开式静压导轨内的第三静压滑块组件。

10.根据权利要求1所述的大行程超精密复合静压导轨系统，其特征在于，所述床身为大理石床身。