[发明专利]一种仿蝴蝶翅膀的三维纳米结构制备方法及三维纳米结构有效
| 申请号： | 201910163328.8 | 申请日： | 2019-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN109911844B | 公开（公告）日： | 2021-09-21 |
| 发明（设计）人： | 章潇慧;龚明 | 申请（专利权）人： | 中车工业研究院有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王庆龙;苗晓静 |
| 地址： | 100070 北京市丰*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 蝴蝶 翅膀 三维 纳米 结构 制备 方法 | ||
1.一种仿蝴蝶翅膀的三维纳米结构制备方法，其特征在于，包括：
在基底表面涂覆光刻胶；
控制两束激光入射光呈预设角度照射所述光刻胶表面，利用两束激光入射光的干涉效果在所述光刻胶表面制备周期性的纳米条纹结构，并通过所述激光入射光和所述基底的反射光形成的驻波在所述光刻胶侧面形成周期性的纳米结构，其中，所述基底为硅基底；
利用表面带有周期性的纳米条纹结构以及侧面带有周期性的纳米结构的光刻胶制备仿蝴蝶翅膀的三维纳米结构；
所述纳米条纹结构的周期由下面第一关系模型确定：
其中，P为所述纳米条纹结构的周期，λ为激光入射光的波长，θ1为第一束激光入射光的入射角，θ2为第二束激光入射光的入射角；
在所述光刻胶侧面形成的周期性的纳米结构的周期由下面第二关系模型确定：
其中，m为在所述光刻胶侧面形成的周期性的纳米结构的周期，λ为激光入射光的波长，nPR是光刻胶的反射率。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述纳米条纹结构的周期为600-1000nm，且所述条纹的宽度为300-400nm。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述光刻胶侧面形成的周期性的纳米结构的周期为20-50nm。
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述利用表面带有周期性的纳米条纹结构以及侧面带有周期性的纳米结构的光刻胶制备仿蝴蝶翅膀的三维纳米结构之前，所述方法还包括：
在所述纳米条纹结构上沉积金颗粒形成蝴蝶仿生结构。
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述在所述纳米条纹结构上沉积金颗粒形成蝴蝶仿生结构，包括：
采用物理气相沉积法在所述纳米条纹结构上沉积金颗粒形成蝴蝶仿生结构。
6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述在基底表面涂覆光刻胶，包括：
采用旋涂机在基底表面均匀涂覆光刻胶。
7.一种仿蝴蝶翅膀的三维纳米结构，其特征在于，采用如权利要求1～6任一项所述仿蝴蝶翅膀的三维纳米结构制备方法制备得到。
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