[发明专利]一种检测硅粉中碳含量的检测装置及其检测方法

说明书

本发明公开了一种检测硅粉中碳含量的检测装置及其检测方法，包括依次连接的供氧装置、燃烧检测装置和气体吸收装置；所述燃烧检测装置包括燃烧炉与红外分析仪；所述燃烧炉中使用的助熔剂为铜铁助熔剂；所述气体吸收装置中的吸收液为含氢氧化钙和氢氧化钠的碱性溶液。本发明的检测硅粉中碳含量的检测装置及其检测方法提供了一种检测硅粉中碳含量的检测方法。本检测方法能快速分析硅粉中的碳，降低人工及外送样品成本。本检测方法简单方便，检测结果准确可靠。本发明的设备维护保养费用低廉，药剂也易采购。

技术领域

本发明涉及硅粉检测领域，具体为一种检测硅粉中碳含量的检测装置及其检测方法。

背景技术

现在分析硅粉中杂质主要包括铁铝钙硼磷等，随着多晶硅产品的等级要求越来越高，在进入反应器的硅粉碳的含量直接影响中间产品三氯氢硅的质量，甚至影响到最终产品多晶硅中的碳含量影响。现在的工艺中没有能有效的监测硅粉中的碳含量相应的检测标准。需要开发一种适合硅粉等半导体原材料中的碳含量的分析方法。

发明内容

本发明为了解决现有技术中存在的缺陷，提供一种检测方便快速、干扰少、经济实用的检测硅粉中碳含量的检测装置及其检测方法。

本发明首先提供一种检测硅粉中碳含量的检测装置，包括依次连接的供氧装置、燃烧检测装置和气体吸收装置；所述燃烧检测装置包括燃烧炉与红外分析仪；所述燃烧炉中使用的助熔剂为铜铁助熔剂；所述气体吸收装置中的吸收液为含氢氧化钙和氢氧化钠的碱性溶液。

本发明还提供如下优化方案：

优选的，所述铜铁助熔剂碳杂质的含量低于0.01％。

优选的，所述吸收液为含5％的氢氧化钙和氢氧化钠的碱性溶液。

优选的，所述燃烧炉为管式燃烧炉。

优选的，所述燃烧炉与气体吸收装置用FEP管连接。

更优选的，所述FEP管的一端在气体吸收装置中水平设置，并设置有多组的出气孔。

其次，本发明还提供一种采用上述的检测硅粉中碳含量的检测装置的检测硅粉中碳含量的检测方法，包括以下步骤：

S1将所需检测的硅粉和铜铁助熔剂放入燃烧炉中；

S2打开供氧装置，送入燃烧炉中；

S3硅粉在燃烧炉中燃烧，并将燃烧后的气体送入吸收液；

S4检测吸收液里的碳酸根含量或通过红外分析仪检测高温燃烧产生的特征谱线计算碳的含量。

优选的，所述供氧装置为氧气钢瓶。

优选的，所述燃烧炉设置为1080℃。

优选的，所述硅粉为120-160目的硅粉颗粒。

本发明的有益效果是：

本发明的检测硅粉中碳含量的检测装置及其检测方法提供了一种检测硅粉中碳含量的检测方法。本检测方法能快速分析硅粉中的碳，降低人工及外送样品成本。本检测方法简单方便，检测结果准确可靠。本发明的设备维护保养费用低廉，药剂也易采购。

附图说明

图1为本发明一种优选实施例的检测硅粉中碳含量的检测装置的连接图；

图2为本发明一种优选实施例的检测硅粉中碳含量的检测方法的流程图；

具体的附图标记为：

1供氧装置；2燃烧检测装置；3气体吸收装置。

具体实施方式