[发明专利]一种法布里-珀罗干涉型成像光谱仪在审
申请号: | 201910087681.2 | 申请日: | 2019-01-29 |
公开(公告)号: | CN109632099A | 公开(公告)日: | 2019-04-16 |
发明(设计)人: | 蔡志坚;吴利;吴建宏 | 申请(专利权)人: | 苏州大学 |
主分类号: | G01J3/45 | 分类号: | G01J3/45 |
代理公司: | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人: | 殷海霞 |
地址: | 215000 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 微透镜阵列 聚焦透镜 探测相机 谐振腔 目标物体 聚焦 入射光 入射 干涉型成像光谱仪 法布里-珀罗干涉 成像光谱仪 成像性能 依次设置 出射光 法布里 后焦面 平行光 分辨率 出射 平行 | ||
1.一种法布里-珀罗干涉型成像光谱仪,其特征在于,包括依次设置的聚焦透镜、第一微透镜阵列、F-P谐振腔、第二微透镜阵列和探测相机;目标物体放置在所述聚焦透镜一侧,目标物体发出的光经过所述聚焦透镜聚焦在所述第一微透镜阵列的前焦面上;所述探测相机位于所述第二微透镜阵列的后焦面处;
其中,所述聚焦透镜将入射光聚焦在所述第一微透镜阵列的前焦面上,再通过所述第一微透镜阵列将入射光平行入射到所述F-P谐振腔上,从所述F-P谐振腔出射的平行光再入射到第二微透镜阵列上,最后所述第二微透镜阵列的出射光聚焦在所述探测相机上。
2.如权利要求1所述的成像光谱仪,其特征在于,所述第一微透镜阵列的前焦面上设置有孔板,所述孔板对前级像进行离散采样。
3.如权利要求1所述的成像光谱仪,其特征在于,所述第二微透镜阵列和第一微透镜阵列配合设置。
4.如权利要求1所述的成像光谱仪,其特征在于,所述探测相机包括多个像素点,经所述第二微透镜阵列的光线聚焦在像素点上。
5.如权利要求1所述的成像光谱仪,其特征在于,所述探测相机为CCD或CMOS。
6.如权利要求1所述的成像光谱仪,其特征在于,所述第一微透镜阵列和第二微透镜阵列皆为一维微透镜阵列。
7.如权利要求1所述的成像光谱仪,其特征在于,所述第一微透镜阵列和第二微透镜阵列皆为二维微透镜阵列。
8.如权利要求7所述的成像光谱仪,其特征在于,所述探测相机为二维CCD探测相机或二维CMOS阵列探测相机。
9.如权利要求1所述的成像光谱仪,其特征在于,所述F-P谐振腔为可调谐F-P谐振腔。
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