[发明专利]一种研磨头及化学机械研磨设备在审
| 申请号： | 201910064688.2 | 申请日： | 2019-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN109605210A | 公开（公告）日： | 2019-04-12 |
| 发明（设计）人： | 王光毅;蒋阳波;杨俊铖;高林 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | B24B37/27 | 分类号： | B24B37/27;B24B37/34;B24B37/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 党丽;王宝筠 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉市东湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 连接部件 卡环 主体部件 化学机械研磨设备 导电材料 电连接线 电荷 不均匀 平坦化 研磨头 晶片 金属材料 金属卡环 研磨 电连接 副产物 接地线 地端 外周 承载 | ||
1.一种研磨头，其特征在于，包括：用于晶片的承载的主体部件、连接部件、卡环以及接地线；其中，
所述连接部件固定于所述主体部件，所述连接部件包括导电材料；
卡环，所述卡环设置于所述主体部件的外周，所述卡环为导电材料；
一条或多条电连接线，用于电连接所述连接部件与所述卡环。
2.根据权利要求1所述的研磨头，其特征在于，所述电连接线一部分位于所述主体部件上部，另一部分穿过所述通孔并在所述主体部件内部连接至卡环。
3.根据权利要求1所述的研磨头，其特征在于，所述电连接线沿所述主体部件的外表面连接至卡环。
4.根据权利要求1所述的研磨头，其特征在于，所述连接部件和/或所述卡环的导电材料为金属材料。
5.根据权利要求1所述的研磨头，其特征在于，所述主体部件中设置有多个同心且彼此隔离的空腔，所述空腔用于压力控制。
6.根据权利要求5所述的研磨头，其特征在于，所述空腔通过隔膜形成，所述隔膜通过所述主体内部的定心夹具固定。
7.根据权利要求6所述的研磨头，其特征在于，所述定心夹具为导电材料，所述电连接线经由主体部件内部依次电连接至所述定心夹具与所述卡环。
8.根据权利要求1所述的研磨头，其特征在于，所述主体部件上还设置有晶片探测器。
9.根据权利要求1-8中任一项所述的研磨头，其特征在于，所述电连接线为多条，多条电连接线沿所述卡环的轴向平均分布。
10.一种化学机械研磨设备，其特征在于，包括底座、研磨液供给装置以及如权要求1-9中任一项所述的研磨头。
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