[发明专利]一种镀膜用蒸发装置

说明书

一种镀膜用蒸发装置，包括2根横梁Ⅰ、2根横梁Ⅱ、2个压块Ⅰ、4个锁紧块、4个压块Ⅱ、2个电阻片、2个坩埚支撑组件、3根导电柱、3个密封装置和2个坩埚；所述横梁Ⅰ、横梁Ⅱ、导电柱内均设有冷却水通道，所述导电柱的进水冷却水通道与横梁Ⅰ或横梁Ⅱ的冷却水通道进水端相连通，所述横梁Ⅰ或横梁Ⅱ的冷却水通道出水端与导电柱的出水冷却水通道相连通。利用本发明，可以有效的实现导热零部件的冷却，可以实现多工均匀加热。

技术领域

本发明涉及一种镀膜用蒸发装置。

背景技术

普通蒸发装置用于大功率蒸发需求设备时导热零部件发热严重，对设备密封件的使用寿命影响严重，同时对多工位坩埚同时加热时热量不均匀引起镀膜厚度的不均一。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是，提供一种可以有效的实现导热零部件的冷却，可以实现多工均匀加热的镀膜用蒸发装置。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种镀膜用蒸发装置，包括2根横梁Ⅰ、2根横梁Ⅱ、2个压块Ⅰ、4个锁紧块、4个压块Ⅱ、4个电阻片、2个坩埚支撑组件、3根导电柱、3个密封装置和2个坩埚；

所述横梁Ⅰ、横梁Ⅱ、导电柱内均设有冷却水通道，所述导电柱的进水冷却水通道与横梁Ⅰ或横梁Ⅱ的冷却水通道进水端相连通，所述横梁Ⅰ或横梁Ⅱ的冷却水通道出水端与导电柱的出水冷却水通道相连通；

1根横梁Ⅰ通过压块与1根导电柱相连，连接位置密封，1根横梁Ⅰ、1根横梁Ⅱ与1根导电柱相连，连接位置密封，1根横梁Ⅱ通过压块与1根导电柱相连，连接位置密封，依次排列布置；所述导电柱通过密封装置与镀膜机腔体连接，实现连接口的密封；

1组电阻片一端通过压块和锁紧块与横梁Ⅰ相连，另一端通过压块和锁紧块与横梁Ⅱ相连，连接时需要保证压紧，共两组；所述电阻片与坩埚支撑组件安装连接，所述坩埚与坩埚支撑组件安装连接，所述坩埚支撑组件与镀膜机腔体连接。

进一步，所述坩埚支撑组件包括支撑柱、螺钉、绝缘柱、螺柱；所述支撑柱上设有两个通气孔，避免工作过程中形成局部空腔影响镀膜腔内的真空度；所述支撑柱底部与绝缘柱采用螺钉连接；所述支撑柱底部设有长条形孔，可以保证支撑柱顶部的坩埚始终位于电阻片的中间位置保证加热均匀；所述支撑柱与镀膜机腔体的连接采用螺柱和绝缘柱固定连接。

进一步，1根横梁Ⅰ通过压块与1根导电柱相连，连接位置用密封圈密封。

进一步，1根横梁Ⅰ、1根横梁Ⅱ与1根导电柱相连，连接位置用密封圈密封。

进一步，1根横梁Ⅱ通过压块与1根导电柱相连，连接位置用密封圈密封。

进一步，所述横梁Ⅰ、横梁Ⅱ、导电柱均采用导电性能好的铜材质。

利用本发明，可以有效的实现导热零部件的冷却，可以实现多工均匀加热。

附图说明

图1 为本发明镀膜用蒸发装置实施例的结构示意图；

图2 为图1所示蒸发装置冷却水的流示意图；

图3 为图1所示坩埚支撑组件示意图；

图中：1.横梁Ⅰ，2.横梁Ⅱ，3.压块Ⅰ，4.锁紧块，5.压块Ⅱ，6.电阻片，7.坩埚支撑组件，8.导电柱，9.密封装置，10.坩埚，11.支撑柱，12.螺钉，13绝缘柱，14.螺柱，15.通气孔，16.堵头，17.冷却水入口，18.冷却水出口。

具体实施方式

以下结合附图及实施例对本发明作进一步说明。

实施例

参照图1-图3，一种镀膜用蒸发装置，包括2根横梁Ⅰ1、2根横梁Ⅱ2、2个压块Ⅰ3、4个锁紧块4、4个压块Ⅱ5、4个电阻片6、2个坩埚支撑组件7、3根导电柱8、3个密封装置9和2个坩埚10；