[发明专利]一种镀膜用蒸发装置

权利要求书

1.一种镀膜用蒸发装置，其特征在于：包括2根横梁Ⅰ、2根横梁Ⅱ、2个压块Ⅰ、4个锁紧块、4个压块Ⅱ、4个电阻片、2个坩埚支撑组件、3根导电柱、3个密封装置和2个坩埚；

所述横梁Ⅰ、横梁Ⅱ、导电柱内均设有冷却水通道，所述导电柱的进水冷却水通道与横梁Ⅰ或横梁Ⅱ的冷却水通道进水端相连通，所述横梁Ⅰ或横梁Ⅱ的冷却水通道出水端与导电柱的出水冷却水通道相连通；

1根横梁Ⅰ通过压块与1根导电柱相连，连接位置密封，1根横梁Ⅰ、1根横梁Ⅱ与1根导电柱相连，连接位置密封，1根横梁Ⅱ通过压块与1根导电柱相连，连接位置密封，依次排列布置；所述导电柱通过密封装置与镀膜机腔体连接，实现连接口的密封；

1组电阻片一端通过压块和锁紧块与横梁Ⅰ相连，另一端通过压块和锁紧块与横梁Ⅱ相连，连接时需要保证压紧，共两组；所述电阻片与坩埚支撑组件安装连接，所述坩埚与坩埚支撑组件安装连接，所述坩埚支撑组件与镀膜机腔体连接。

2.根据权利要求1所述的镀膜用蒸发装置，其特征在于：所述坩埚支撑组件包括支撑柱、螺钉、绝缘柱、螺柱；所述支撑柱上设有两个通气孔；所述支撑柱底部与绝缘柱采用螺钉连接；所述支撑柱底部设有长条形孔；所述支撑柱与镀膜机腔体的连接采用螺柱和绝缘柱固定连接。

3.根据权利要求1或2所述的镀膜用蒸发装置，其特征在于：1根横梁Ⅰ通过压块与1根导电柱相连，连接位置用密封圈密封。

4.根据权利要求1或2所述的镀膜用蒸发装置，其特征在于：1根横梁Ⅰ、1根横梁Ⅱ与1根导电柱相连，连接位置用密封圈密封。

5.根据权利要求1或2所述的镀膜用蒸发装置，其特征在于：1根横梁Ⅱ通过压块与1根导电柱相连，连接位置用密封圈密封。

6.根据权利要求1或2所述的镀膜用蒸发装置，其特征在于：所述横梁Ⅰ、横梁Ⅱ、导电柱均采用导电性能好的铜材质。