[发明专利]一种多晶硅铸锭用熔炼装置有效

专利信息
申请号: 201910042101.8 申请日: 2019-01-17
公开(公告)号: CN109883196B 公开(公告)日: 2019-12-24
发明(设计)人: 李广森 申请(专利权)人: 安徽华顺半导体发展有限公司
主分类号: F27B14/00 分类号: F27B14/00;F27B14/10;F27B14/14;F27B14/08
代理公司: 34141 合肥汇融专利代理有限公司 代理人: 张雁
地址: 239300 安*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 外箱体 搅拌叶 搅拌轴 绞龙轴 坩埚炉 蜗杆 多晶硅铸锭 环形齿条 熔炼装置 转动连接 电动机 传动轴 连接杆 缺齿轮 上料筒 阻料板 涡轮 绞龙 传动轴转动 传动连接 涡轮转动 顶端面 输出端 熔炼 延伸 应用
【说明书】:

发明涉及一种多晶硅铸锭用熔炼装置,包括外箱体、蜗杆、电动机、坩埚炉、石座、搅拌叶、搅拌轴、涡轮、上料筒、绞龙轴、绞龙叶、阻料板、连接杆、环形齿条、缺齿轮和传动轴,蜗杆转动连接在外箱体内部顶端面,且与电动机的输出端传动连接,搅拌轴与蜗杆固定连接,搅拌叶设置在搅拌轴上,且搅拌叶延伸至坩埚炉内部,涡轮转动连接在外箱体内部,绞龙轴转动连接在上料筒内部,且与涡轮固定连接,绞龙叶设置在绞龙轴上,传动轴转动连接在外箱体内部,缺齿轮设置在传动轴上,环形齿条通过连接杆与阻料板固定连接,本发明结构优良,设计合理,操作简便,提高熔炼效率,提高坩埚炉的利用率,具有广泛地应用前景,创造性强。

技术领域

本发明涉及硅片生产设备领域,具体为一种多晶硅铸锭用熔炼装置。

背景技术

多晶硅,是单质硅的一种形态。熔融的单质硅在过冷条件下凝固时,硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核,如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒,则这些晶粒结合起来,就结晶成多晶硅。利用价值:从目前国际太阳电池的发展过程可以看出其发展趋势为单晶硅、多晶硅、带状硅、薄膜材料(包括微晶硅基薄膜、化合物基薄膜及染料薄膜)。

多晶硅硅片一般采用多种材料熔炼铸锭而成,现有技术中硅片制作方式将由人工将所有材料导入坩埚炉,由坩埚炉进行熔炼,再导入铸锭设备内部进行成型,这样传统的方式缺点是坩埚炉产生的热量一部分用以熔炼,多余的热量会散布流失,造成资源浪费,且大量物料一同投入坩埚炉内部,熔炼速度较慢,熔炼效率较低,综上所述,现急需一种多晶硅铸锭用熔炼装置来解决上述出现的问题。

发明内容

本发明目的是提供一种多晶硅铸锭用熔炼装置,以解决上述背景技术中提出的传统的方式缺点是坩埚炉产生的热量一部分用以熔炼,多余的热量会散布流失,造成资源浪费,且大量物料一同投入坩埚炉内部,熔炼速度较慢,熔炼效率较低的问题。

为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种多晶硅铸锭用熔炼装置,包括装置主体、辅助烘干机构和间歇性下料机构,所述装置主体包括外箱体、上料口一、蜗杆、电动机、上料口二、坩埚炉、石座、支腿、搅拌叶和搅拌轴,所述支腿设置在外箱体下端面,所述坩埚炉设置在外箱体内部底端面,且贯穿外箱体底端面,所述石座设置在坩埚炉底端,所述上料口一和上料口二对称开设于外箱体顶端面,所述电动机设置在外箱体顶端面,所述蜗杆转动连接在外箱体内部顶端面,且与电动机的输出端传动连接,所述搅拌轴与蜗杆固定连接,所述搅拌叶设置在搅拌轴上,且搅拌叶延伸至坩埚炉内部,所述辅助烘干机构设置在外箱体内部,所述辅助烘干机构包括辅助烘干组件和涡轮,所述涡轮转动连接在外箱体内部,所述辅助烘干组件设有两个,两个所述辅助烘干机构对称设置在外箱体内部涡轮两侧,所述辅助烘干组件包括上料筒、绞龙轴、绞龙叶和出料口,所述上料筒设置在外箱体内部,所述绞龙轴转动连接在上料筒内部,且与涡轮固定连接,所述绞龙叶设置在绞龙轴上,所述上料筒环形侧面靠下部位置内端开设有出料口,所述间歇性下料机构包括阻料板、连接杆、环形齿条、缺齿轮和传动轴,所述传动轴转动连接在外箱体内部,所述缺齿轮设置在传动轴上,所述环形齿条滑动连接在外箱体内部,所述环形齿条通过连接杆与阻料板固定连接。

进一步地,所述支腿设有四个,四个所述支腿分别设置在外箱体下端面四个棱角处。

进一步地,所述搅拌叶设有若干组,若干组所述搅拌叶呈环形等距排布于搅拌轴环形侧面,且整体结构呈等腰梯形。

进一步地,所述涡轮与蜗杆相啮合,所述传动轴与绞龙轴通过同步带传动连接。

进一步地,两个所述上料筒均通过导料口分别与上料口一和上料口二相连接。

进一步地,所述上料筒环形侧面靠下部位置设置有导热板。

进一步地,所述坩埚炉下端面中心位置连接内腔开设有物料出口,且物料出口内部设置有孔塞销。

进一步地,所述外箱体内部设置有供环形齿条滑动的条形滑轨。

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